1、超純水製取設備的發展進程
早期超純水的需求主要是來自發電、醫藥化工、造紙等行業，水質要求相對較低，其製備只要採用離子交換，該方法的主要缺點是化學藥劑再生，既麻煩又不經濟，而且由於強行樹脂對一般有機分子除去效果差，出水中TOC含量高，隨著半導體工業發展，對超純水質量要求提高，從而大大的推動了純水技術的發展，到了上個世紀末，膜技術得到了廣泛的套用，微濾，超濾，電滲析和反滲透技術先進的水處理技術得到了飛速的發展，膜法製備純水取代了傳統的離子交換設備系統，解決了TOC問題，滿足了電子行業對純水質量的要求取設備工藝。
2、超純水製取設備工藝流程
傳統超純水製取設備[1]工藝流程：原水—多介質過濾器—活性炭過濾器—一級除鹽—混床—超純水
膜法超純水製取設備工藝流程：原水—超濾—反滲透—EDI—超純水
在膜法工藝中，超濾，微濾替代澄清，石英砂過濾器，活性炭過濾器，除去水中的懸浮物膠體和有機物，降低濁度，SDI，COD等，可以實現反滲透裝置對污水回用的安全，高效運行，以反滲透替代離子交換器脫鹽，進一步除去有機物，膠體，細菌等雜誌，可以保證反滲透出水滿足EDI進水的要求，以EDI代替混床深度脫鹽，利用電而不是酸鹼對樹脂再生，避免了二次污染。
3、原水水質概論
水中的雜質按存在的形態的不同可以分為懸浮物，膠體和溶解性固體三種，其中固體含量用總固體量作為指標，把一定量水樣在105-110°烘箱中烘乾到恆重，所得的重量及為總固含量。
第一類是懸浮物物指懸浮於水中的物質，顆粒直徑在10-4mm以上，如泥沙，粘土，動植物殘骸，微生物，有機物，藻類等。
第二類是膠體，指水中帶電荷的膠體為例，顆粒直徑在10-5mm之間，膠體顆粒是許多分子或離子集合體，這種細小顆粒具有較大的比表面積，從而使他具有特殊的吸附能力，而被吸附的物質往往是水中的離子，因此膠體顆粒帶有一定的電荷，如矽鐵鋁化合物及一些高分子有機物如腐殖質等，也有一些在此粒徑範圍的細菌，病毒等。
第三類是溶解物，只被水所溶解的，分子或離子狀態的溶質或氣體如氯化物，硫酸鹽等。
懸浮物和膠體是使天然水產生渾濁的主要原因。
4、原水的預處理
反滲透因為膜材料及元件的關係，對進水水質有一定的要求，預處理解決的問題是賭賽，結構，污染和波壞，堵塞時指水中的顆粒，懸浮物，膠體，鐵氧化物沉澱等堵塞膜元件的流道，結垢是指難溶鹽在濃水側濃縮厚結晶析出，可預先除去或加阻垢劑。污染是指油脂，有機物吸附在膜的表面，微生物繁殖，膠體吸附等，採用殺菌，氧化破壞，絮凝過濾，活性炭吸附等辦法解決，波壞是指自由楊，臭氧等氧化劑破壞膜材料，採用活性炭吸附或者加還原劑。
傳統預處理方法
多介質過濾器對有機物除去主要是依靠絮凝作用加以捕獲，只對顆粒狀或膠體狀的大分子物質有效，對溶解狀態的天然有機物和許多工業有機污染物無效
活性炭吸附可以通過吸附作用，部分除去小分子的有機物，活性炭對於COD德除去率在40-90%。活性炭不作為過濾截留用。
膜法預處理
膜法預處理為下游的拖延系統提供可靠的進水水質保證。
過濾是一種以篩分為分離原理，以壓力位推動力的膜分離過程，過濾精度在0.005um-0.01um範圍，可以有效除去水中的微粒，膠體，細菌以及高分子有機物等，超濾過程無相轉化，具有良好的耐溫，難酸鹼和耐氧化性能。超濾採用不同的截留分子量的膜材料及工藝設計，可以適應各種不同水質條件及分離功能。
5、反滲透
反滲透簡稱RO，主要是高壓泵與反滲透膜組成，在高壓的情況下，除去水分子以為，水中的其他物質，礦物質，有街舞，微生物等，並被高壓水流衝擊滲透到另一面的水即使安全，衛生，純淨的水。利用反滲透的分離特徵可以有效除去水中的溶解鹽，膠體，有機物，細菌等雜誌，反滲透具有能耗低，無污染，工藝陷阱，操作簡單等優點，反滲透技術可慣犯套用於過濾補給水的軟化除鹽，海水，苦鹹水的淡化，飲用純淨水的製備，電子工業超純水的製備，虎穴，食品工業中的分離，濃縮及回收，以及其他工藝用水等。反滲透膜影響因素
回收率：過高的回收率會使膜污染或濃水中過量的溶解鹽沉澱，導致膜的結垢。
溫度：溫度對滲透壓與水通量均有影響，水通量與溫度成正比，通常與溫度變化的粘度成正比，一般水溫升高一度，膜產水量增加3%。
壓力：對給定的一組進水條件，增大壓力會使單位膜面積的水流量提高，雖然鹽通量不受壓力影響，但是增加壓力引起水流量的增大卻稀釋了鹽對膜的通過，其結果使透過液的鹽濃度減低。
6、EDI設備技術
EDI特徵是：將電滲析技術和離子交換技術相融合，無需酸鹼而連續製取高品質的純水，利用電而不是酸鹼對樹脂進行再生，簡單的說，EDI是一種不消耗酸鹼而製取純水的新技術，俗稱電混床，填充床電滲析，EDI具有可連續生產連續再生，產水品質穩定，運行費用低，操作管理方便，占地面積小等優點，同時無廢水，化學污染排放，有利於節水和環保，也節省了污水處理投資和水處理費用。
7、結論
利用超濾，反滲透，EDI等膜元件組合集成的膜法工藝，構成了沒有酸鹼的脫鹽系統，其中超濾系統作為預處理，實現了反滲透系統的高效，安全運行，使用高脫鹽率反滲透膜處理，世紀反滲透產水水質滿足EDI的進水標準。EDI膜元件的模組化設計，可方便使組合任意產水規模，徹底避免酸鹼，縮小占地空間，適用各種用途的脫鹽系統，使水處理技術的發展上升到了新的高度。
