在生產過程中,如發現液面突然下降、矽棒掉落、電極報警等現象,應立即反應,確認漏矽後及時處理:
1)關閉真空泵球閥及真空泵,防止漏的矽料被吸走;
2)手動復位面板,所有開關歸零,關閉加熱開關;
3)待結晶後提高堝位(頂起導流桶一般為100mm以上),可以防止剩餘矽料結晶後脹裂加熱器;
4)將氬氣進氣閥充至常壓後關閉;
5)準備滅火器、水、布等。對波紋管、排氣管道進行降溫,可戴隔熱手套對手部進行保護,發生火
災時用滅火器及時處理;
6)時刻關注爐內情況及爐體溫度,聯繫各部門做好準備,必要是進行撤離。
作為一名一線操作人員,在日常的工作中必須提及重視,認真對待每一個細節的操作。
1)裝爐前確認防爆閥正常;
2)裝料前檢查石英堝到位,無氣泡、白點、質地均勻等;
3)裝料時嚴格按照規程操作,小心謹慎,避免磕碰、掛邊、搭橋、扒堝等現象;
4)塌料時,注意爐內情況,有異常及時報告、處理;
5)化料完成後,及時進行下一步的操作,避免石英堝在高溫區時間過長;
6)引晶時細頸不宜過細,控制在4-6毫米之間;
7)在等徑過程中,如發現晶棒晃動且幅度較大,應及時做提斷處理;
8)在晶棒回熔過程中,功率不宜過高且侵入液面長度不宜過長,防止晶棒底部扎漏石英堝;
9)晶棒提段過程應緩慢,防止細頸溫差過大崩裂,造成掉棒。