六種無為法
該宗以修持境界立論，分無為法為六種：
①虛空無為。指真如為顯現空無的真理，真空寂滅，遠離各種障礙，猶如虛空。
②擇滅無為。指憑藉無漏 智慧的簡擇力，斷滅一切煩惱而證得真如。
③非擇滅無為，簡稱“非擇滅”。指真如本性清淨，不因人的智慧簡擇力達到寂滅後才顯現出來。
④不動無為。指禪定進入色界第四靜慮時，不為苦樂所動的實證境界。
⑤想受滅無為，又稱“滅盡定無為”。指禪定進入無色定的無所有處境界，一切染污心想及苦樂二受俱滅，但仍然是不究竟的境界。
⑥真如無為。即佛所講的能出生三界所有法的本體的無為性，如如性。法相唯識宗突出真如無為，認為前五種無為都是因“真如無為”的不同顯現，這在佛教是一個對法界真相的呈示。
有為法
有因緣造作之法，叫做“有為法”，無因緣造作之法，即叫做“無為法”。在五位百法中，前面的九十四法，皆是有生滅變異的有為法，最後六法，才是清淨寂滅的無為法，也叫做“真如實相”。真如實相本來不一不異，為何又分出六法？蓋六種中的前五種，或依其原因而說，或約其作用來講，只有最後的真如無為才是無為法的本體。
對比區別
有為法與無為法，有何差別 ？
有為法就是因緣和合而生的一切理法。
無為法就是無因緣造作的理法，也就是無生滅變化而寂然常住之法。
這是有為法與無為法一般之見識，有為法可說事相方面而言，無為法可說理體方面而言。
若站在中道實相義而言，有為法與無為法是不二的，離開有為法就沒有無為法，離開無為法就沒有有為法，有為無為不一不異，何以故？因為無為法建立在有為法之上，有為法由無為法而彰顯故。
大般若經云：“有為界不見無為界，無為界不見有為界，何以故？非離有為施設無為，非離無為施設有為故。”
（聖嚴法師著《佛學問答》）
