濺射

濺射--是用帶電粒子轟擊靶材,發生表面原子碰撞並發生能量和動量的轉移的現象。

濺射

用帶電粒子轟擊靶材,加速的離子轟擊固體表面時,發生表面原子碰撞並發生能量和動量的轉移,使靶材原子從表面逸出並澱積在襯底材料上的過程。

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