簡介
《潔淨廠房設計規範》GB50073-2001
主編部門：中華人民共和國電子工業部
批准部門：中華人民共和國國家計畫委員會
施行時間：1985年6月1日
內容
第一章 總則第1．0．1 條潔淨廠房設計必須貫徹執行國家的有關方針政策，做到技術先進、
潔淨廠房設計規範第1．0．2 條本規範適用於新建和改建、擴建的潔淨廠房設計，但不適用於以細菌為控制對象的生物潔淨室。本規範有關防火和疏散、消防設施章節的規定，不適用於建築高度超過24米的高層潔淨廠房和地下潔淨廠房的設計。
第1．0．3 條在利用原有建築進行潔淨技術改造時，潔淨廠房設計必須根據生產工藝要求，因地制宜、區別對待，充分利用已有的技術設施。
第1．0．4條潔淨廠房設計應為施工安裝、維護管理、測試和安全運行創造必要的條件。
第1．0．5條潔淨廠房設計除應按本規範執行外，尚應符合現行的國家標準、規範的有關要求。第二章 空氣潔淨度等級
第2．0．1條 空氣潔淨度應按表2.0.1規定劃分為四個等級。
空氣潔淨度等級表2.0.1
| 等級 | 每立方米（每升）空氣中 ≥0.5微米塵粒數 | 每立方米（每升）空氣中 ≥5微米塵粒數 | 100級 | ≤35×100(3.5) | ​ | 1000級 | ≤35×1000(35) | ≤2500(0.25) | 10000級 | ≤35×10000(350) | ≤25000(2.5) | 100000級 | ≤35×100000(3500) | ≤25000(25) |
2．0．2條潔淨室空氣潔淨度等級的檢驗，應以動態條件下測試的塵粒數為依據。潔淨室空氣潔淨度的測試，應符合附錄二規定。第三章 總體設計
第一節 潔淨廠房位置選擇和總平面布置
第3.1.1條潔淨廠房位置的選擇，應根據下列要求並經技術經濟方案比較後確定：
一、應在大氣含塵濃度較低，自然環境較好的區域；
二、應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場
等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區域。如不能遠離嚴重空氣污染源時，則應位於其最大頻率
風向上風側，或全年最小頻率風向下風側；
三、應布置在廠區內環境清潔、人流貨流不穿越或少穿越的地段。
第3．1．2條對於兼有微振控制要求的潔淨廠房的位置選擇，應實際測定周圍現有振源的振動影響，並應與精密設備、精密儀器儀表允許環境振動值進行分析比較。
第3．1．3條潔淨廠房最大頻率風向上風側有煙囪時，潔淨廠房與煙囪之間的水平距離不宜小於煙囪高度的12倍。 第3.1.4條 潔潔廠房與交通幹道之間的距離不宜小於50米。
第3．1．5條 潔淨廠房周圍宜設定環形消防車道(可利用交通道路)，如有困難時，可沿廠房的兩個長邊設定消防車道。
第3．1．6條潔淨廠房周圍的道路面層，應選用整體性好、發塵少的材料。
第3．1．7條潔淨廠房周圍應進行綠化。可鋪植草坪、種植對大氣含塵農度不產生有害影響的樹木，並形成綠化小區。但不得妨礙消防操作。
第二節 工藝布置和設計綜合協調
第3．2．1條 工藝布置應符合下列要求：
一、工藝布置合理、緊湊。潔淨室或潔淨區內只布置必要的工藝設備以及有空氣潔淨度等級要
求的工序和工作室。
二、在滿足生產工藝要求的前提下，空氣潔淨度高的潔淨室或潔淨區宜*近空氣調節機房，空
氣潔淨度等級相同的工序和工作室宜集中布置，*近潔淨區人口處宜布置空氣潔淨度等級較低的工
作室。
三、潔淨室內要求空氣潔淨度高的工序應布置在上風側，易產生污染的工藝設備應布置在*近
迴風口位置。
四、應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線，並預留設備安裝口和檢修口。
五、應設定單獨的物料人口，物料傳遞路線應最短，物料進入潔淨區之前必須進行清潔處理。
第3．2．2條潔淨廠房內宜少設隔間，但在下列情況下可予以分隔。
一、按生產的火災危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產區段之間，或有防火分隔要
求者。
二、生產過程中產生較強噪聲或散發較多熱量、塵粒和有害氣體，且不能採取局部措施加以
控制者。
三、生產聯繫少，並經常不同時使用的兩個生產車間之間。
第3．2．3條潔淨廠房的平面和空間設計，宜將潔淨區、人員淨化、物料淨化和其他輔助用房進行分區布置。同時應考慮生產操作、工藝設備安裝和維修、氣流組織型式、管線布置以及淨化空氣調節系統等各種技術設施的綜合協調效果。
第3．2．4條潔淨廠房設計必須合理確定各種管線的平面位置和豎向標高。 第3．2．5條 潔淨廠房內各種固定技術設施(如送風口、照明器、迴風口、各種管線等)的布置，宜首先考慮淨化空氣調節系統的要求。
第三節 噪聲控制
第3．3．1條潔淨室內的噪聲級，應符合下列要求：
一、動態測試時，潔淨室內的噪聲級不應超過70分貝A。
二、空態測試時，亂流潔淨室的噪聲級不宜大於60分貝A；層流潔淨室的噪聲級不應大於65分
貝A。
註：（1）由於技術經濟條件限制，或噪聲大於70分貝A對生產無影響時，噪聲級可適當放寬，但不
宜大於75分貝A；
（2）上述噪聲級是指在室內每一個工作點人耳位置（人離開）的測量值。對於變動噪聲，則
取相同位置處在一個正常工作日內的等效連續聲壓級。
第3．3．2條潔淨室的噪聲頻譜限制，應採用倍頻程聲太級；各頻帶聲壓級值不宜大於表3.3.2的規定。
第3．3．3條潔淨廠房的平、剖面布置，應考慮噪聲控制的要求，其圍護結構應有良好的隔聲性能，並宜使各部分隔聲量相接近。
第3．3．4條潔淨室內的各種設備均應選用低噪聲產品。對於輻射噪聲超過潔淨室允許值的設備，應設定專用隔聲設施(如隔聲間、隔聲罩等)。
第3.3.5條淨化空氣調節系統噪聲超過允許值時，應採取隔聲、消聲、隔聲振等控制措施。 除事故排風外，應對潔淨室內的排風系統進行減噪設計。
第3．3．6條淨化空氣調節系統，根據室內噪聲級的要求，風管內風速宜按下列規定選用：
一、總風管為6～10米/秒。
二、無送、迴風口的支風管為6～8米/秒。
三、有送、迴風口的大風管為3～6米/秒。
第3．3．7條潔淨廠房的噪聲控制設計必須考慮生產環境的空氣潔淨度要求，不得因控制噪聲而影響潔淨室的淨化條件。
第四節 振動控制
第3.4.1條潔淨廠房和周圍輔助性站房內有強烈振動的設備(包括水泵等)及其通往潔淨室的管道，應採取積極隔振措施。
第3．4．2條對潔淨廠房內外各類振源，應測定其對潔淨廠房的綜合振動影響。如受條件限制，也可根據經驗對綜合振動影響進行評價。並應與精密設備、精儀器儀表的允許環境振動值進行比較，以確定對其採取必要的隔振措施。
第3．4．3條精密設備、精密儀器儀表的隔振措施，應考慮減少發生量、保持潔淨室內合理的氣流組織等要求。當採用空氣彈簧隔振台座時，應地氣源進行處理，使其達到潔淨室的空氣潔淨度等級。
第一節 一般規定
第4．1．1條 潔淨廠房的建築平面和空間布局，應具有適當的靈活性。潔 淨區的主體結構不宜採用內牆承重。
第4．1．2條 潔淨室的高度以淨高控制，淨高應以100毫基本模數。
第4．1．3條 潔淨廠房主體結構的耐久性與室內裝備和裝修水平相協調， 並應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能（地震區應符合抗震設計規定）。 廠房變形縫應避免穿過潔淨區。
第4．1．4條 送、迴風管和其他管線需暗敷時，應設定技術夾層、技術夾 道或地溝等；穿越極層的豎向管線需暗敷時，宜設定技術豎井。
第4．1．5條 對兼有一般生產和潔淨生產的綜合性廠房，其方案設計和構 造的處理，應避免在人流與物流運輸以及防火方面對潔淨生產帶來不利影響。
第二節 人員淨化和物料淨化設施
第4．2．1條 潔淨廠房內應設定人員淨化、物料淨化用室和設施，並應根 據需要設定生活用室和其他用室。
第4．2．2條 人員淨化用室，宜包括雨具存放間、管理室、換鞋室、存外衣 室、盥洗室、潔淨工作服室和空氣吹淋室等。 廁所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗間和乾燥間等其他用室， 可根據需要設定。
第4．2．3條 人員淨化用室和生活用室的設計，應符合下列要求：
一、人員淨化用室的入口處，應設淨鞋器。
二、存外衣室和潔淨工作服室應分別設定。外衣存衣櫃和潔淨工作服櫃應按 設計人數每人設
一櫃。
三、盥洗室應設洗手和烘乾設備。水龍頭應按最大班人數每10人設一個。
四、潔淨區不得設廁所。人員淨化用室內的廁所應設前室。
五、空氣吸淋室應設在潔淨區人員入口處，並應與潔淨工作服室相鄰。單人 空氣吹淋室按最
大班人數每30人設一台。當僅為100級垂直層流潔淨室時，可改 設氣閘室。
潔淨區工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設旁通門。
第4．2．4條 人流路線應避免往復交*。人員淨化用室和生活用室的布置， 一般按圖4．2．4的人員淨化程式進行布置。
第4．2．5條 根據不同的空氣潔淨度等級和工作人員數量，潔淨廠房內人 員淨化用室和生活用室的建築面積應合理確定。一般可按潔淨區設計人數平均每 人4～6平方米計算。
第4．2．6條 潔淨工作服室內，對空氣淨化應有一定的要求。
第4．2．7條 潔淨室的設備和物料出入口，應根據設備和物料的性質、形 狀等待征設定物料淨化用室及其設施。物料淨化用室的布置，應防止淨化後物料 在傳遞過程中被污染。
第三節 防火和疏散
第4．3．1條 潔淨廠房的耐火等級不應低於二級。吊頂材料應為非燃燒體， 其耐火極限不宜小於0．25小時。
第4．3．2條 潔淨廠房內一般的生產工作間的火災危險性，可按附錄三進 行分類。
第4．3．3條 甲、乙類生產的潔淨廠房，宜採用單層廠房。其防火牆間最 大允許占地面積，單層廠房應為3，000平方米，多層廠房應為2，000平方米。
第4．3．4條 甲、乙類生產或設定在甲、乙類生產環境中的裝配式潔淨室， 其頂棚和壁板（包括內部填充物）應為非燃燒體。
第4．3．5條 在一個防火區內的綜合性廠房，其潔淨生產與一般生產區域 之間應設定非燃燒體隔牆封閉到頂。隔牆及其相應頂板的耐火極限不應低於1小 時，隔牆上的門窗耐火極限不應低於0．6小時。穿過隔牆或頂板的管線周圍空隙 應採用非燃燒材料緊密填塞。
第4．3．6條 技術豎井井壁應為非燃燒體，其耐火極限不應低於1小時。井 壁上檢查門的耐火極限不應低於0．6小時；豎井內在各層或間隔一層樓板處，應 採用相當於樓板耐火極限的非燃燒體作水平防火分隔；穿過水平防火分隔的管線 周圍空隙，應採用非燃燒材料緊密填塞。
第4．3．7條 潔淨廠房每一生產層、每一防火分區或每一潔淨區的安全出 口的數量，均不應少於兩個。但符合下列要求者，可設定一個安全出口：
一、甲、乙類生產廠房每層的總建築面積不用過50平方米，且同一時間內的 生產人員總數不
用過5人；
二、丙、丁、戊類生產廠房，符合國家現行的《建築設計防火規範》的規定 者。
安全出口應分散均勻布置，從生產地點至安全出口不用經過曲折的人員淨化 路線。
第4．3．8條 潔淨區與非潔淨區和潔淨區與室外相通的安全疏散門應向疏 散方向開啟。安全疏散門不得採用吊門、轉門、側拉門以及電控自動門。
第4．3．9條 當潔淨廠房同層外牆上可供消防人員通往廠房潔淨區的門窗， 其洞口間距大於80米時，則應在該段外牆的適當部位設定專用消防口。 專用消防口的寬度不應小於750毫米，高度不應小於1800毫米，並應有明顯標誌。樓層的專用消防口應附設陽台，並從二層起向上設爬樓。
第四節 室內裝修
第4．4．1條 潔淨廠房的建築圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好， 且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。牆面內裝修當需附加構造骨架和保 溫層時。應採用非燃燒體或難燃燒體。
第4．4．2條 潔淨室內牆壁和頂棚的表面，應符合平整、光滑、不起灰、 避免眩光、便於除塵等要求；應減少凹凸面，陰陽角做成圓角。室內裝修宜採用 於操作；如為抹灰時，應採用高級抹灰標
準。
第4．4．3條 潔淨室的地面，應符合平整、耐磨、易除塵清洗、不易積聚 靜電、避免眩光、並有舒適感等要求。
第4．4．4條 潔淨廠房技術夾層的牆面、頂棚宜抹灰。如需在技術夾層內 更換高效空氣過濾器時，宜增刷塗料飾面。 地面、迴風地溝和位於地下的技術夾層，應採用防水或防潮、防霉措施。 建築風道和迴風地溝的內表面裝修標準，應與整個送、迴風系統相適應，並 應易於除塵。
第4．4．5條 潔淨室和人員淨化用室設定的外窗，應採用雙層玻璃金屬窗，並應有良好的氣密性。
第4．4．6條 潔淨室內的密閉門宜朝空氣潔淨度較高的房間開啟。無窗潔 淨室的密閉門上宜設觀察窗。
第4．4．7條 潔淨室門窗、牆壁、頂棚、地（樓）面的構造和施工縫隙， 均應採取可*的密封措施。
第4．4．8條 潔淨室內的色彩宜淡雅柔和。室內各表面材料的光反射係數， 頂棚和牆面宜為0．6－0．8；地面宜為0．15--0．35。
第五節 裝配式潔淨室
第4．5．1條 在新建或改建的潔淨廠房設計中，對於面積不大、層高較低、 要求空氣潔淨度較高的生產環境可採用裝配式潔淨室。
第4．5．2條 裝配式潔淨室所在的房間應有空氣淨化要求，並應與裝配式潔 淨室的空氣潔淨度等級相適應。外圍建築的耐火等級不得低於二級。
第4．5．3條 裝配式潔淨室頂棚可由裝配式潔淨室本身內壁板或支柱支承， 也可固定在外圍建築上。迴風地溝或迴風地坑宜設在外圍建築的地面以下。
第4．5．4條 裝配式潔淨室設計應滿足在該室室內安裝壁板的要求。裝配 式潔淨室的構配件應做到：連線構造的整體性強、氣密性好，並便於組裝、拆卸、 包裝和運輸。
第4．5．5條 裝配式潔淨室的四周壁板中，宜有一面或兩面緊貼或*近外 圍建築的牆壁。緊貼時，壁板與牆壁之間的安裝縫隙應封閉；*近時，應留有清 掃距離。當裝配式潔淨室時,壁板外側設有技術夾道時，壁板與外圍建築內牆面 之間淨寬不宜小於600毫米。
第一節 一般規定
第5．1．1條潔淨廠房內各潔淨室的空氣潔淨度等級的確定，應符合下列要求：
一、潔淨室內有多種工序時，應根據各工序的不同要求，採用不同的空氣潔淨度等級。
二、在滿足人生產工藝要求的前提下，潔淨室的氣流組級別，宜採用局部工作區空氣淨化和全
室空氣淨化相結合的形式。
第5.1.2條 層流潔淨室和亂流潔淨室以及運行班次和使用時間不同的潔淨室，其淨化空氣調節系統均宜分開設定。
第5．1．3條潔淨室內的計算溫、溫度、應符合下列規定：
一、滿足生產工藝要求
二、生產工藝無溫、濕度要求時，潔淨室溫度為20～26度，溫度70度。
第5．1．4條潔淨室內應保證一定的新鮮空氣量，其數值頻取下列風量中的最大值；
一、亂流潔淨室總送風量的10%～30%，層流潔淨室總送風量的2～4%。
二、補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量。
三、保證室內每人每小時的新鮮空氣量不小於40立方米。
第5．1．5條潔淨區的清掃，宜採用移動式高效真空吸塵器或設定集中式真空吸塵系統。潔淨室內集中式真空吸塵系統的管道，應暗敷。
第5．1．6條在淨化空氣調節系統設計中，對施工和維護管理要求，可按附錄四和附錄五的規定。
第二節 潔淨室正壓控制
第5．2．1條潔淨室必須維持一定的正壓。不同等級的潔淨室以及潔淨區與非潔淨區之間的靜壓差，應不小於4.9Pa，潔淨區與室外的靜壓差，應不小於9.8Pa。
第5．2．2條潔淨室維持不同的正壓值所需的正壓風量，宜按下式計算：
Q=q1·Σ（q·L） （5.2.2）
式中：Q--維持潔淨室正壓值所需的正壓風量(米3/時)； a--根據圍擴結構氣密性確定的安全係數，可取1.1～1.2； q--當潔淨室為某一正壓值時，其圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量(米3/時·米)； L--圍擴結構的縫隙長度(米)。
第5．2．3條圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量.
第5．2．4條送風、迴風和排風系統的啟閉聯鎖。系統開啟時，聯軸和序應為先啟動送風機，再啟動迴風機和排風機，系統關閉時，則聞鎖程式應相反。
第5．2．5條非連續運行的潔淨室，可根據生產工藝要求設定值班風機，並應對新風進行處理。
第三節 氣流組組織和送風量
第5．3．1 氣流組織的選擇，應符合下列要求：
一、潔淨工作區的氣流速度，應滿足空氣潔淨度和人體健康的要求，並應使潔淨工作區氣流流
向單一。
二、迴風口宜均勻布置在潔淨室下部。
三、余壓閥宜設在潔淨室氣流的下風側，不宜設在潔淨工作區高度範圍內。
第5．3．2條潔淨室的氣流組織和送風量，宜按表5.3.2選用。
第5．3．3條亂流潔淨室的送風量，應取下列規定的最大值；
一、為控制室內空氣潔淨度所需要的送風量。
二、按表5.3.2規定的送風量。
三、根據熱、濕負荷計算和稀釋有害氣體所需的送風量。
四、按空氣平衡所需要的送風量。
第5.3.4條當生產工藝僅要求在潔淨室內局部工作區達到更高的空氣潔淨度時，其氣流組織設計應
使潔淨氣流首先流經該工作區，或在潔淨室的不同區域形成不同氣流流型和空氣潔淨度等級的潔淨工作區，其型式可分別按圖5.3.4-1、5.3.4-2。
第5．3．5條層流潔淨室內不宜設定潔淨工作檯；亂流潔淨室內可設定潔淨工作檯，但其位置應遠離迴風口。
第5．3．6條潔淨室內有局部排風裝置時，其位置應設在工作區氣流的下風側。
第四節 空氣淨化處理
第5．4．1條各等級空氣潔淨度的空氣淨化處理，均應採用初效、中效、高效空氣過濾器三級過
濾。
注1：100，000級空氣淨化處理，可採用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。
第5．4．2條確定集中式或分散式淨化空氣調節系統時，應綜合考慮生產工藝特點和潔淨室空氣潔淨度等級、面積、位置等因素。凡生產工藝連續、潔淨室面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔淨室，宜採用集中式淨化空氣調節系統。
第5．4．3條淨化空氣調節系統設計應合理利用迴風，凡工藝過程產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛生要求，或對其他工序有危害時，則不套用迴風。
第5．4．4條淨化空氣調節系統除直流式系統和設定值班風機的系統外，應採取防止室外污染空氣通過新風口參入潔淨室內的防倒灌措施。
第5．4．5條空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應符合下列要求：
一、初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器。
二、中效空氣過濾器宜集中設定在淨化空氣調節系統的正壓段。
三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設定在淨化空氣調節系統末端。
四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用。
五、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設定在同一潔淨室內。
六、高效空氣過濾器安裝方式應簡便可*，易於檢漏和更換。
第5．4．6條送風機可按淨化空氣調節系統的總送風量和總阻力值進行選擇，中效、高效空氣過濾器的阻力宜接其初阻力的兩倍計算。
第5．4．7條淨化空氣調節系統如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高效空氣過濾器的上風側，並應有防火安全措施。
第五節 採暖通風
第5．5．1條潔淨室的採暖型式，應按下列不同情況確定：
一、100級、1000級、10，000級潔淨室，不應採用散熱器採暖，100，000級潔淨室，不宜採用
散熱器採暖。
二、值班採暖可利用技術夾道的散熱器進行間接採暖。或採用間歇運行淨化空氣調節系統，值
班風機系統進行熱風采暖。
第5.5.2條散熱器應採用表面光滑不易積塵、便於清掃的形式。
第5．5．3條潔淨室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備，應設局部排風裝置、排風罩的操作口面積應儘量縮小。
第5．5．4條局部排風系統在下列情況下，應單獨設定：
一、非同一淨化空氣調節系統。
二、排風介質混合後能產生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性。
三、所排出的有害物毒性相差很大。
第5.5.5條潔淨室的排風系統設計，應採取下列措施：
一、防倒灌措施。
二、含有易燃、易爆物質局部排風系統的防火、防爆措施。
第5．5．6條換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應採取通風措施，其室內的靜壓值，應低於潔淨區。
第5．5．7條潔淨室事故排風系統的換氣次數，應採用每小時15～20次。 事故排風裝置的控制開
關，應分別設在潔淨室和室外便於操作的地點，並應與淨化空氣調節系統聯鎖，其室內宜設報警裝置。
第六節 風管和附屬檔案
第5．6．1條風管斷面尺寸的確定，應考慮能對風管內壁進行清潔處理，並在適當位置設定密閉的清掃口。風管壁厚按附錄六選用。
第5．6．2條淨化空氣調節系統的新風管、迴風總管，應設定密閉調節閥。送風機的吸入口處和需要調節風量處，應設定密閉調節閥。送風機的吸入口處和需要調節風量處，應設定調節閥。潔淨室內的排風系統，應設定調節閥、止回閥或密閉閥。總風管穿過樓板和風管穿過防火牆處，必須設定防火閥。
第 5．6．3條淨化空氣調節系統的風管和調節閥以及高效空氣過濾器的保護網、孔板和擴散孔板等附屬檔案的製作材料和塗料，應根據輸送空氣的潔淨要求及其所處的空氣環境條件確定。 潔淨室內排風系統的風管、調節閥和止回閥等附屬檔案的製作材料和塗料，應根據排除氣體的性質及其所處的空氣環境條件確定。
第5．6．4條在中效和高效的空氣過濾器前後，應設定測壓孔。在新風管和送迴風總管以及需要調節風量的支管上，應設定風量測定孔。
第5．6．5條排除腐蝕性氣體的風管，可採用塑膠風管，其他風管以及風管的保溫和游泳場材料及其粘結劑，應採用非燃燒材料或難燃燒材料。
第一節 一般規定
第6．1．1條 潔淨廠房內的給水排水乾管，應敷設在技術夾層、技術豎井、 地溝管槽內或地下埋設。潔淨室內應少敷設管道。引入潔淨室的支管宜明敷，但對空氣潔淨度等級要求高的潔淨室可暗敷。
第6．1．2條 潔淨廠房內的管道外表面，如可能結露，應採取防結露措施。
第6．1．3條 管道穿過潔淨室頂棚、牆壁和樓板處應設套管。管道與套管 之間應採取可*的密封措施。
第5．1．4條 管道不宜穿過防火牆。如必須穿過時，穿牆管及其套管應為 非燃燒體管材。
第二節 給水
第6．2．1條 潔淨廠房內的給水系統設計，應根據生產、生活和消防等各 項用水對水質、水溫、水壓和水量的要求，分別設定直流、循環或重複利用的給 水系統。高純水系統應設定循環管道。
第6．2．2條 管材的選擇，應符合下列要求：
一、純水管、高純水管應採用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不鏽鋼管；
二、冷卻循環給水和回水管宜採用鍍鋅鋼管；
三、生產用水設備與管道的連線宜採用優質軟管；
四、管道的配件應採用相應的材料。
第6．2．3條 潔淨廠房內可設定開水供應設施；盥洗室內的盥洗盆宜供應 熱水；軟化水、純水管適應預留清洗口；純水終端淨化裝置應放在近用水點處。
第6．2．4條 潔淨廠房的周圍，應設定灑水設施。
第三節 排水
第6．3．1條 潔淨廠房的排水系統設計，應根據生產排出的廢水性質、濃 度、水量等特點確定排水系統，並應有廢水處理或綜合利用設施。
第6．3．2條 潔淨室內的排水設備以及與重力回水管道相連線的設備，必 須在其排出口以下部位設水封裝置，並應有防止水封被破壞的設施。
第6．3．3條 100級、1000級潔淨室內，不宜設定地漏；如必須設定時，應 採用有蓋地漏，並不應設排水溝。10，000、100，000級潔淨室內允許穿過排水 豎管，但在豎管上不得設定檢查口。
第6．3．4條 潔淨廠房內應採用不易積存污物、易於清掃的衛生器具、管 材、管架及其附屬檔案。
第四節 消防設施
第6．4．1條 潔淨廠房應根據生產的火災危險性分類和建築物耐火等級等 因素確定消防設施。
第6．4．2條 潔淨廠房室內消火栓給水系統的消防用水量不應小於10升/ 秒，每股水量不應少於5升/秒；
第6．4．3條 潔淨廠房的消火栓設定，應符合下列要求：
一、消火栓的水槍充實水柱，不應小於10米。
二、消火栓的栓口直徑應為65毫米，配備的水帶長度不應超過25米，水槍噴 嘴口徑不應小於
19毫米。
第6．4．4條 潔淨室及其技術夾道和技術夾層內，均宜同時設定鹵代烷或 二氧化碳等滅火設施和消防給水系統。對設有貴重設備儀器或生產的火災危險性 較大的潔淨室，以及當火災發生時消防人員難以進入撲救的技術夾層和技術夾道 等部位，應同時設定鹵代烷或二氧化碳等固定滅火裝置和消防給水系統。
第一節 一般規定
第7．1．1條工業氣體管道的乾管，應敷設在技術夾層、技術夾道內。氫氣和氧氣管道且明敷，如敷設在技術夾層、技術夾道內時，應採取良好的通風措施。 引入潔淨的支管宜明敷。
第7．1．2條高純氣體管道設計，應符合下列要求：
一、根據計算確定管徑。
二、管道系統應儘量短。
三、不宜設預留口。
四、不應出現"盲管"等不易吹除的部位。
五、乾管不支管上應設定吹除口。
六、在管系統上應設定吹除口。
第7.1．3條穿過潔淨室牆壁或樓板的氣體管道，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫。管道與套管之間應採取可*的密封措施。
第7．1．4條氫氣和氧氣管道的末端或最高點宜設放散管。放散管應高出屋脊1米，並應設在防雷保護區內。
第7．1．5條氣體淨化裝置應根據氣源和生產工藝對氣體統一計畫的要求進行選擇。氣體終端淨化裝置應設在*近用氣點處。
第7．1．6條氣體過濾器應根據生產工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高純氣體管道應裝設高效氣體過濾器。
第二節 管道材料、閥門和附屬檔案
第7．2．1條根據不同的氣體及其純度和用途，管道材料應按下列規定選用：
一、氣體純度大小或等於99.999%時，應採用不鏽鋼管。
二、氣體純度大於或等於99.99%時，宜採用不鏽鋼管、銅管、無縫鋼管。
三、氣體純度小於99.99%時，可採用無縫鋼管。
四、管道與設備的連線段，宜採用金屬管道；如為非金屬軟管時，宜採用聚四氟乙烯管、聚乙
烯管、不得採用乳膠管。
第7．2．2條高純氣體管道應採用密封性能好的低門和附屬檔案，其材料與管道相適應。閥門的密合圈應為有色金屬、不鏽鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應採用聚四氟乙烯材料。
第7．2．3 高純氣體管道與附屬檔案連線的密封墊，應採用不鏽鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。
第三節 管道連線和清洗
第7．3．1條管道連線應採用焊接。高純氣體管道應採用承插焊。
第7．3．2條管道與設備、閥門的連線處，宜採用法蘭、螺紋或其它密封性能優良的連線件。螺紋處宜採用聚四氟乙烯帶密封。
第7．3．3條 高純性氣體管道內的內壁、閥門和附屬檔案在安裝前，應進行清洗、脫脂等預處理。
第四節 安全技術
第7．4．1條 工業氣體管道設計的安全技術，應符合下列規定；
一、氫氣管道的支管和放散管上，應設定回火防止器。
二、氫氣和氧氣管道應設定導除靜電裝置。
三、各種氣體管道應設明顯標誌。
第7．4．2條潔淨室內使用氫氣時，宜在室內設定報警裝置。
第7．4．3條各種氣瓶應集中設定在潔淨廠房外，當日用氣量不超過一瓶時，氣瓶可設定在潔淨室內。
