清潔表面

清潔表面是指在特殊環境中經過特殊處理後獲得的表面，是不存在吸附、催化反應或雜質擴散處理等物理、化學效應的表面，例如，經過離子轟擊、高溫脫附、超高真空解離、蒸發薄膜、場效應蒸發、化學反應、分子束外延等特殊處理後，保持在超高真空下，外來沾污少到不能用一般表面分析方法探測的表面。

定產生義：不受任何污染的化學純表面

：經特殊處理，經離子轟擊後退火處理的表面。