氮氣回收
氮氣是電子封裝,操作平台需要的保護氣體,它的用量之大,要求之高,是生產控制經營成本必須重視的一個重要方面。
將操作平台排出含有油份和水份的氣體,經羅茨風機升壓,經過濾器除去大部分油份,進入活性碳過濾器,深度脫除油份,用分子篩除去水份,氮氣由出操作平台時高油份、水份,經過除油、除水、氮氣達到工作要求。最後將淨化後的氮氣送入操作平台。循環使用。
設備構成:
1、羅茨風機
2、過濾器
3、活性碳過濾器
4、吸附乾燥塔
5、再生冷卻器
6、壓力自動控制系統
7、流量計、壓力表、閥門、管道
8、電控櫃
工藝流程:
將操作平台排出含有油份和水份的氣體,經羅茨風機升壓,經過濾器除大部分油份,進入活性碳過濾器,深度除油份,用分子篩除去水份,氮氣的露點由出操作平台高油份、水份,經過除油、除水、水分下降到-60℃,氮氣達到工作要求。最後將淨化後的氮氣送入操作平台。循環使用。