微透鏡陣列可分為折射型微透鏡陣列與衍射型微透鏡陣列兩類。衍射微透鏡列陣利用其表面波長量級的三維浮雕結構對光波進行調製、變換,具有輕而薄、設計靈活等特點。作為功能元件,在波前感測、光聚能、光整形等多種系統可得到廣泛套用。
微透鏡陣列將一個完整的雷射波前在空間上分成許多微小的部分, 每一部分都被相應的小透鏡聚焦在焦平面上, 一系列微透鏡就可以得到由一系列焦點組成的平面。如果雷射波前為理想的平面波前, 那么在微透鏡陣列焦平面上就可以得到一組均勻而且規則的焦點分布;然而實際的雷射波前並不是理想的平面波前, 它們或多或少地帶有一些畸變, 用微透鏡陣列聚焦後, 焦點不再是均勻分布, 而是與理想的焦點發生了位移。