基板校正裝置

基板校正裝置，其包括承載台和多個滾動件。承載台包括多個側邊、底面以及感應器，感應器設在底面上以確認基板是否放至定位，而滾動件設在側邊和底面上。當基板由機械手傳送至承載台時，可利用滾動件使基板校正到承載台上的適當位置。

權利要求

一種基板校正裝置，包括有： 一承載台，包括一底面和一周邊，所述底面與所述周邊連線；和 多個滾動件，設在所述周邊和所述底面上。