台式場發射掃描電子顯微鏡

台式場發射掃描電子顯微鏡（Desktop FE-SEM）於2018年在荷蘭誕生，是採用場發射電子源，放置在普通檯面上的場發射掃描電子顯微鏡；台式場發射掃描電子顯微鏡解析度為 2.5納米左右；台式場發射掃描電子顯微鏡沒有特殊安裝環境要求（傳統場發射掃描電鏡對震動和磁場強度的要求也較高，所以需儘量避免震動和雜散磁場的干擾） ；台式場發射掃描電子顯微鏡操作相對簡單；台式場發射掃描電鏡和傳統場發射掃描電鏡在顯微成像和元素分析方面功能一致：包括各種固態樣品表面形貌的二次電子像、背散射電子像，微區元素分析，測量等功能；台式場發射掃描電鏡價格較傳統場發射更加便宜。