二氯二氫矽
又名二氯矽烷,分子式SiH2Cl2,分子量101,沸點8.2℃,溶點-122.0
常溫下呈液化氣體,25℃液體密度1.25kg/L,極易水解,在空氣中冒白煙,有鹽酸氣味,水分存在下有極強的腐蝕性。
比容:0.239m3/kg(21.1ºC, 101.325kPa)
CAS Registry No.:4109-96-0
套用:半導體外延和化學氣相沉積工藝中的矽源氣體。有機矽化合物的生產。製作大規模積體電路所必需的優質矽源
在空氣中易燃,100℃以上能自燃,燃燒後生成氯化氫和氧化矽。加熱至100℃以上時會自行分解而生成鹽酸。氯氣、氫氣和不定性矽。施以強烈撞擊時也會自行分解。在濕空氣中產生腐蝕性煙霧。與鹼、乙醇、丙酮起反應。即使接觸少量鹵素或其他氧化劑也會發生激烈反應。
二氯矽烷的毒作用主要是由它在濕空氣中的水解產物氯化氫引起的。因此,人吸入後激烈刺激呼吸道,引起咳嗽、呼吸道發炎、喉痙攣和肺水腫。觸到眼睛可引起流淚並導致眼灼傷。接觸皮膚可引起化學灼傷。液態二氯矽烷也可引起冷灼傷。