二氯氫矽

是一種有機化學藥品,無色,劇毒,腐蝕性,易燃燒的液化氣體,帶有刺激性的鹽酸味,令人窒息,化學式為SiH2Cl2。

二氯氫矽 二氯氫矽

二氯二氫矽

又名二氯矽烷,分子式SiH2Cl2,分子量101,沸點8.2℃,溶點-122.0

常溫下呈液化氣體,25℃液體密度1.25kg/L,極易水解,在空氣中冒白煙,有鹽酸氣味,水分存在下有極強的腐蝕性。

比容:0.239m3/kg(21.1ºC, 101.325kPa)

CAS Registry No.:4109-96-0

套用:半導體外延和化學氣相沉積工藝中的矽源氣體。有機矽化合物的生產。製作大規模積體電路所必需的優質矽源

在空氣中易燃,100℃以上能自燃,燃燒後生成氯化氫和氧化矽。加熱至100℃以上時會自行分解而生成鹽酸。氯氣、氫氣和不定性矽。施以強烈撞擊時也會自行分解。在濕空氣中產生腐蝕性煙霧。與鹼、乙醇、丙酮起反應。即使接觸少量鹵素或其他氧化劑也會發生激烈反應。

二氯矽烷的毒作用主要是由它在濕空氣中的水解產物氯化氫引起的。因此,人吸入後激烈刺激呼吸道,引起咳嗽、呼吸道發炎、喉痙攣和肺水腫。觸到眼睛可引起流淚並導致眼灼傷。接觸皮膚可引起化學灼傷。液態二氯矽烷也可引起冷灼傷。

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