電子級三氯氫矽

理化性質

電子級三氯氫矽electronic grade trici}lorcx}ilane SiHC13無 色可燃，腐蝕性液體，有令人窒息的臭味。在濕空氣中迅速水解 生成氯化氫:沸點31.9':.熔點一126.5 C:。液體密度134UkgI 耐:在空氣「}，的可燃限b.9%一7U }'u。閃點一28 . U}.。TI}V按 HCl)5x 1U一“。

製作方法

其製法是以工業級二氯氫矽為原料，精餾提純。 二氯氫矽在半導體晶片和}C他元件的製造中用作化學氣相澱積 的矽源-