內容簡介
碳化矽以其優異的溫度特性、電遷移特性、機械特性等，越來越被微電子和微機電系統研究領域所關注，不斷有新的研究群體介入這一材料及其套用的研究。《用於惡劣環境的碳化矽微機電系統》是目前譯者見到的唯一一本系統論述碳化矽微機電系統的著作，作者是來自英國、美國從事碳化矽微機電系統研究的幾位學者，他們系統綜述了碳化矽生長、加工、接觸、腐蝕和套用等環節的技術和現狀，匯聚了作者大量的經驗和智慧。目錄
譯者序前言
第1章SiCMEMS概述
1.簡介
2.SiC材料性能
3.製作微機電（MEM）器件
4.表面改性
5.SiCMEMS的頻率調諧
6.MEMS的機械測試
7.套用舉例
8.小結
參考文獻
第2章SiCMEMS沉積技術
1.概述
2.與SiC沉積相關的問題
3.APCVD
4.PE（2VD
5.LPCVD
6.LPCⅧSiC薄膜的摻雜
7.其他沉積方法
8.小結
參考文獻
第3章與SiC接觸開發相關的問題綜述
1.概述
2.熱穩定性
3.p型SiC的歐姆接觸
4.使用Ni的歐姆接觸
5.肖特基接觸缺陷的影響
6.小結
參考文獻
第4章SiC的乾法刻蝕
1.概述
2.等離子刻蝕基礎
3.SiC的等離子刻蝕
4.電漿化學
5.掩膜材料
6.近期發展及未來展望
7.小結
參考文獻
第5章SiCMEMS的設計、性能和套用
1.概述
2.SiCMEMS器件
3.結論和展望
參考文獻
附錄
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前言
首先，我要感謝所有對本書作出貢獻的專家。沒有他們，就不可能有本書。我也要向蘇格蘭微電子中心的同行表示最深切的感謝，他們用多種方法為本書第1章描述的科學和技術作出了貢獻。編寫這樣一本關於SiCMEMS手稿的目的是把最新的信息濃縮成易於被學術界和商業公司接受的書的形式。本書總結了與惡劣環境套用SiCMEMS相關的高質量信息，供從事此領域及相關研究的學生、學者和科研人員使用。我也希望本書能夠對整個MEMS領域的發展貢獻力量。MEMS是微小尺度的機械器件／感測器，其有非常廣泛的套用，如小型化的加速度感測器和壓力感測器、模仿蟋蟀纖毛的風速感測器、用於生物醫學的微流體泵等。與SiC相比，SiC的主要優點自然是材料的機械和化學穩定性。一旦這些材料性能在高溫和惡劣環境等套用中體現出來，就將對科學和工程的促進產生推動，導致最終產品的出現。本書闡述從SiC材料的發明到最終套用到MEMS中整個過程中相關的科學和技術。
本書分別在SiC加工、生長、接觸和腐蝕等技術和工藝現狀方面做了精彩闡述，並在最後一章論述了SiCMEMS的套用。
