《現代材料工藝力學的發展方向》

材料的微尺度從亞毫米到微米工藝,如微電子器件和微電子機械加工工藝依賴於微尺度力學理論的發展。它不但涉及到物質在細微觀統稱微尺度或小體積,層次物質運動規律的研究,而且涉及到在這一尺度範圍內機械運動與其他物質運動形態,包括熱、光、電等的相互聯繫與轉化規律的研究。這裡,採用什麼樣的數學力學模型,離散的還是連續體的,局部的還是非局部的,經典的還是量子的,確定性的還是統計的模型去描述微尺度工藝過程中物質運動的規律,這是迫切需要解決的重大力學理論課題。目前已經發展的原子、分子動力學方法、微態、微極與非局部場論方法、非平衡統計和非線性動力學方法、熱、力、電、磁相互耦合的細觀力學方法等都還不成熟,需要深化與發展以便在微尺度加工工藝中獲得真正套用。

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