內容簡介
本書循序漸進，體系嚴密，在內容組織上是一本教科書，已被美國一些著名大學採用。全書共分16章。第1、2章概括了基本感測原理和製造方法；第3章討論了當今MEMS實踐中所必須掌握的電學和機械工程基本知識；第4～9章分別描述了靜電、熱、壓阻、壓電、磁敏感與執行方法，及其相關的感測器與執行器；第10—11章詳細介紹了微製造中最常用的體微機械加工和表面微機械加工技術，而器件製造方法則插入到實例研究中；第12章討論了與聚合物有關的。MEMS製造技術；根據這些敏感與執行方法以及製造方法，第13一15章選擇了MEMS主要套用領域作為實例介紹，包括微流控套用、用於掃描探針顯微術的器件、光MEMS。第16章介紹了工藝集成問題和項目管理問題。作者簡介
ChangLiu（劉昶）於1995年在美國加州理工學院獲博士學位。1996年在美國伊利諾斯大學微電子實驗室作博士後，1997年成為伊利諾斯大學電氣與計算機工程系和機械與工業工程系聯合任命的助理教授，2003年獲得終身職位並任副教授。ChangLiu在微機電系統MEMS領域研究已經14年，發表120餘篇國際期刊論文及會議論文．他的研究工作被廣泛引用。他為本科生和研究生開設了多門課程，包括MEMS、固體電子學、機電學和傳熱學。他因利用MEMS技術開發人工毛髮細胞方面的工作．於1998年獲得美國國家科學基金會的ICAREER獎。他目前擔任國際期刊JMEMS的編委和IEEESenIsorsJournal的副主編以及IEEEMEMS，IEEESensors等多種國際會議程式委員會委員。
媒體評論
目錄
譯者序教師備忘錄
前言
第l章 緒論
1.0 預覽
1.1 MEMS研究發展史
1.2 MEMS的本質特徵
1.2.1 小型化
1.2.2 微電子集成
1.2.3 高精度的批量製造
1.3 器件：感測器和執行器
1.3.1 能量域和換能器
1.3.2 感測器
1.3.3 執行器
總結
習題
