內容簡介
《微機電系統工程基礎》可供高等學校相關專業高年級選做本科教育教材，也可以供感興趣的研究生、科研人員參考之用。
微機電系統是20世紀末興起，並在21世紀初開始快速發展的高科技前沿領域。其所涉及領域不斷擴大，相關研究也日趨深入。《微機電系統工程基礎》主要介紹相關的工程基礎知識。《微機電系統工程基礎》共11章，較為詳細地介紹了半導體製作工藝、執行器、微系統的工作機理及製作方法和套用範圍、各種新發展的微檢測技術、微系統設計、建模方法和應注意的事項等，還重點介紹了微機電系統的固體力學、微流體力學和微尺度傳熱的基礎知識，分析了微系統中的工程特點，與傳統工程科學的區別，傳統理論在微機電系統套用中所受到的限制及其修正，微機電系統中常見的失效方式及其應對原則等。
圖書目錄
前言
第1章 微機電系統概述
第2章 微機電系統的製作(上)
第3章 微機電系統的製作(下)
第4章 常見的微型器件(上)——幾種典型的微感測器及其工作原理
第5章 常見的微型器件(中)——幾種典型的微執行器及其工作原理
第6章 常見微型器件(下)——幾種典型的微結構和微系統
第7章 微檢測技術
第8章 微機電系統相關的固體力學基礎知識
第9章 微機電系統的設計和建模
第10章 微尺度流體力學的相關基礎知識
第11章 微尺度傳熱基礎知識
參考文獻
……
