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MEMS
MEMS是微機電系統（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫。它是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，...
簡介 技術條件 組成部分 影響 套用領域 -
MEMS開關
MEMS開關就是MEMS技術的具體套用。顧名思義，開關就是來控制電路通斷狀況的，高效、快速反應、準確、重複使用頻率、高可靠性是現代電路系統對開關的特殊要求。
技術 特點 發展及現狀 參考資料 -
微感測器MEMS與智慧型器件
本書全面地介紹了微感測器的製作工藝，是一部論述微感測器、MEMS和智慧型器件成功套用的重要專著。
內容提要 編輯推薦 作者簡介 目錄 -
MEMS感測器
MEMS感測器即微機電系統（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經...
套用 研究現狀 分類 總結 -
MEMS振盪器
MEMS振盪器是指通過微機電系統製作出的一種可程式的矽振盪器。
介紹 原理 特點 目標 -
MEMS可靠性
MEMS可靠性，作者，（日）田畑修，（日）土屋智由，由東南大學出版社於2009-03-01出版。
基本信息 內容簡介 圖書目錄 -
MEMS交換
MEMS交換是一種光交換技術，是採用的為電子機械技術，現在在現代技術中運用較廣。
簡介 組成 -
MEMS壓力感測器
簡介MEMS壓力感測器是一種薄膜元件，受到壓力時變形。 套用1.套用於汽車行業MEMS壓力感測器在汽車中的一個新套用是傳動系統壓力感測，通常用於自動裝置...
簡介 套用 -
表面矽MEMS加工技術
表面矽MEMS加工技術是在積體電路平面工藝基礎上發展起來的一種MEMS工藝技術。它利用矽平面上不同材料的順序澱積和選擇腐蝕來形成各種微結構。
基本思路 關鍵工藝技術 工藝集成 工藝發展趨勢 -
MEMS強鏈及其套用
《MEMS強鏈及其套用》簡介：MEMS強鏈也稱MEMS密碼鎖，是一種用於高風險系統的高可靠性安全保障的微機電裝置，可用於武器裝備、彈藥庫、政府、銀行、金...
基本信息 內容簡介
