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中北大學儀器與電子學院
、高速旋轉以及高過載衝擊等特種惡劣環境下對微小型、高可靠性MEMS器件和...材料薄膜工藝與MEMS技術相結合，實現基於功能材料的新型微納器件研究...衝擊等特種套用環境下對微小型、高可靠性MEMS器件加工技術的套用需求...
學院介紹 組織機構 專業介紹 傑出人才 學院年度報告 -
感測器
。微型化是建立在微電子機械系統（MEMS）技術基礎上的，已成功套用在矽器件上...的被測量並按照一定的規律轉換成可用輸出信號的器件或裝置，通常由敏感元件和轉換...、磁電等效應。被測信號量的微小變化都將轉換成電信號。化學感測器 包括那些...
產品定義 產品特點 工作原理 組成介紹 性能指標 -
生物醫學感測技術
理解表面化學、界面物理與分子組裝技術。研製轉換器件需要用到微納電子技術...方法稱作無創和微創檢測，這種技術易於被測者接受，特別是在人體或實驗動物活體的原位進行的無創及微創檢測，有利於保持被測對象的生理狀態，有利於進行...
發展現狀 特點 套用領域 發展目標 發展趨勢 -
溫度感測器
的檢測部分與被測對象有良好的接觸，又稱溫度計。 溫度計通過傳導或對流達到熱平衡，從而使溫度計的示值能直接表示被測對象的溫度。一般測量精度較高...熱電阻和低溫溫差電偶等。低溫溫度計要求感溫元件體積小、準確度高、復現性和...
電子分類 接觸式類 非接觸式 矽溫度類 熱電偶類 -
濕度感測器
。濕敏電阻的特點是在基片上復蓋一層用感濕材料製成的膜，當空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時，元件的電阻率和電阻值都發生變化，利用這一特性即可測量濕度...的準確度可達2-3%RH，這比干濕球測濕精度高。濕敏元件的線性度及抗污染性差...
原理 注意事項 特性 特點 技術指標 -
中北大學
，該校與美國麻省理工學院建立合作關係，並就微機械技術及MEMS水聽器項目達成...授予權。1991年，學校“電子測壓蛋”項目獲得了國家發明二等獎，實現...山西省有史以來發表的最高水平的論文。 2010年1月，中北大學在第一屆微...
歷史沿革 科學研究 辦學條件 文化傳統 校園環境
