麥克風 矽麥克風是通過MEMS技術在矽半導體上蝕刻壓力感測膜片而製成的微型...的 MEMS加速度器很有可能要結合其他類型的感測器，如地磁感測器、陀螺儀、GPS...(MEMS)微加工技術，開發生產了一系列微型感測器，如加速度感測器、震動感測器...
