CD[關鍵尺寸(CD)]

關鍵尺寸（CD）晶片上的物理尺寸特徵被稱為特徵尺寸。描述特徵尺寸的另一個術語是電路的幾何尺寸。特別值得關注的是矽片上的最小特徵尺寸，也稱為關鍵尺寸或CD。例如：如果在晶片上的最小尺寸是0.18μm，那么這個尺寸就是CD。自半導體製造業開始以來，器件的CD一直在縮小，從20世紀50年代初期以大約125μm的CD開始，目前是0.18μm或者更小。半導體產業使用的“技術節點”這一術語描述在矽片製造中使用的可套用的CD。