關鍵尺寸(Critical Dimension，簡稱CD)：在積體電路光掩模製造及光刻工藝中為評估及控制工藝的圖形處理精度，特設計一種反映積體電路特徵線條寬度的專用線條圖形。
關鍵尺寸（CD） 晶片上的物理尺寸特徵被稱為特徵尺寸。描述特徵尺寸的另一個術語是電路的幾何尺寸。特別值得關注的是矽片上的最小特徵尺寸，也稱為關鍵尺寸或CD。例如：如果在晶片上的最小尺寸是0.18μm，那么這個尺寸就是CD。自半導體製造業開始以來，器件的CD一直在縮小，從20世紀50年代初期以大約125μm的CD開始，目前是0.18μm或者更小。半導體產業使用的“技術節點”這一術語描述在矽片製造中使用的可套用的CD。
