電弧離子鍍

電弧離子鍍arcdischargedeposition：以鍍膜材料作為靶極，藉助於觸發裝置，使靶表面產生弧光放電，鍍膜材料在電弧作用下，產生無熔池蒸發並沉積在基片上的一種鍍膜方法。