電子機械

微電子機械系統
MEMS英文micro electro mechanical systems的縮寫，即微電子機械系統。
MEMS是建立在微米/納米技術（micro/nanotechnology)基礎上的21世紀前沿技術，使之對微米/納米材料進行設計、加工、製造和控制的技術。它可將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統、數字處理系統集成為一個整體單元的微型系統。這種微電子機械系統不但能夠採集、處理與傳送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息自主地或根據外部指令採取行動。它用微電子技術和微加工技術（包括矽體微加工、矽表面微加工、LIGA和晶片鍵合等技術）相結合的製造工藝，製造出各種性能優異、價格低廉、微型化的感測器、執行器、驅動器和微系統。
微電子機械系統（MEMS）是近年來發展起來的一種新型多學科交叉的技術，該技術將對未來人類生活產生革命性的影響，它涉及機械、電子、化學、物理、光學、生物、材料等學科。