簡要介紹
加速度感測器有很多種，現在套用比較廣泛的有微機械加速度計，又稱為矽加速度計，它感測加速度的原理與一般的加速度計相同。根據讀取元件的不同，微機械加速度計分為壓阻式加速度計、電容式加速度計、諧振梁式加速度計和靜電力平衡式加速度計。微機械加速度計體積小，便於安裝，測量方法簡單，成本低、抗過載能力強，滿足微小型飛行器的結構和空間限制的要求。
加速度計由檢測質量（也稱敏感質量）、支承、電位器、彈簧、阻尼器和殼體組成。按輸入軸數目分類，有單軸、雙軸和三軸加速度計。
ADXL202雙軸加速度感測器
ADXL202是美國ADI公司推出的一款低成本、低功耗、功能完善的雙軸加速度感測器，其測量範圍為±2g。ADXL202既能測量動態加速度（如振動加速度），又能測量靜態加速度（如重力加速度）。
ADXL202採用14引腳表面封裝。有兩種工作溫度範圍:商業溫度範圍為0℃～70 ℃，工業溫度範圍為-40 ℃～ +85 ℃。
ADXL202 具有以下特點：（1）ADXL202 是集雙軸加速度感測器於一體的單塊積體電路；（2）它既可測量動態加速度，又可測量靜態加速度；（3）具有脈寬占空比輸出；（4）低功耗(<0.6mA)；（5）比電解質、水銀、熱能、斜度測量儀回響快；（6）每根軸的頻寬均可通過電容調整；（7）60Hz頻寬時的解析度為5mg；（7）直流工作電壓為+3V～+5.25V；（8）可承受1000g的劇烈衝擊。
ADXL202可套用於如下領域：（1）斜度測量；（2）慣性導航；（3）地震監測裝置；（4）交通安全系統；（5）電池供電的運動測量裝置。
ADI 公司推出iMEMS 雙軸加速度計ADXL206
雙軸iMEMS加速度計ADXL206
全球領先的高性能信號處理解決方案供應商ADI最近全面推出高精度、低功耗、提供信號調理的模擬電壓輸出的雙軸iMEMS加速度計ADXL206。單晶片ADXL206的滿量程加速度測量範圍為±5g， 既能測量振動等動態加速度， 也能測量重力等靜態加速度。工作溫度範圍為-40℃～+175℃， 具有出色的整體穩定性， 非常適合用於地質鑽探工具和其他極端高溫工業套用。
ADI公司MEMS和感測器技術部行銷與套用經理Wayne Meyer表示： “ 我們沒有使用額外的溫度補償電路， 而是採用創新的設計技術來確保從內部實現高性能。因此， 它基本上不存在量化誤差或其他非單調性， 溫度遲滯非常低， 在-40℃～+175℃的整個溫度範圍內通常小於2mg。這款產品再次彰顯了ADI公司在高性能MEMS慣性感測器領域的領導地位。”
ADI公司儀器儀表市場行銷經理Pam Aparo表示：“一方面， 設計師結合各種智慧型鑽探系統， 以力求不斷深入地表； 另一方面， 又不得不在功耗、尺寸和空間要求與獲得更多信息之間作出權衡。ADXL206 iMEMS加速度計不僅是一款極為緊湊的解決方案， 而且大幅降低了功耗， 單軸功耗從10mA 以上降至0.5mA以下。”
ADXL206 iMEMS加速度計的典型噪底為110μg/√Hz，因而在傾斜檢測套用中， 可以利用窄頻寬(<60Hz) 解析1mg（0.06°傾角） 以下的信號。根據套用需要， 可以選擇0.5Hz～2.5kHz範圍內的頻寬。ADXL206提供13mm×8mm×2mm、8引腳側面釺焊陶瓷雙列直插式封裝(SBDIP)。
主要特性
ADXL206 iMEMS 加速度計主要特性：（1）溫度範圍：-40℃～+175℃；（2）解析度：1mg (60Hz)；（3）低功耗：700μA（VS=5V， 典型值）；（4）高零g偏移可重複性；（5）高靈敏度精度；（6）抗衝擊能力：3500g。
ADI公司微機械產品線高級套用工程師趙延輝表示，單晶片ADXL206的滿量程加速度測量範圍為±5 g，既能測量振動等動態加速度，也能測量重力等靜態加速度。保證的工作溫度範圍為-40°C~+175°C，具有出色的整體穩定性，非常適合用於地質鑽探工具和其它極端高溫工業套用。
趙延輝介紹說， 雙軸iMEMS加速度計ADXL206沒有使用額外的溫度補償電路，而是採用創新的設計技術來確保從內部實現高性能。因此，它基本上不存在量化誤差或其它非單調性，溫度遲滯非常低，在-40°C~+175°C的整個溫度範圍內通常小於2mg。當溫度超過+175°C時，性能會有所下降，但100%可恢復。在TA =175°C 情況下，ADXL206也能保證工作1000 小時。由於動態範圍寬，解析度高，在60Hz 頻寬下也能達到1mg解析度。當Vs為5V時，功耗僅為700μA，單軸功耗可從以往的10mA以上降至0.5mA以下。特別是在動態範圍下，高零g偏移可重複性不會超過±10mg。312mV/g高靈敏度精度，也實現了整個系統的高精度，並且抗衝擊能力達到了3500g。
ADXL210E型加速度計
ADXL210E型加速度計是集成在單片積體電路上的完整的加速度測量系統，是基於數字輸出的加速度感測器。它具有低功耗、高解析度和套用方便等特點，特別適用於加速度和傾斜的測量，使用AXDL210E可大大簡化系統設計、降低成本和功耗。
ADXL210E型加速度計的主要特點有：（1）集雙軸加速度感測器於一體的單片積體電路；（2）採用尺寸為5mm×5mm×2mm的8引腳密封LCC封裝；（3）高解析度，60Hz時可達到2mg；（4）測量範圍為±10g；（5）低功耗，電源電流<0.6mA；（6）通過占空比信號輸出連線埠可以直接與低成本微處理器相連；（7）只須通過調節一外接電容來調整信號頻寬；（8）3V-5.5V單電源供電；（9）可承受1000g的震動或衝擊。
