簡介
長沙半導體工藝設備研究所是中國電子科技集團公司直屬的國內從事以叄束〔電子束、離子束、分子束）為主半導體微細加工設備研製開發的專業研究所，地處湖南省長沙市天心區，全所占地面積230畝。所內綠樹成蔭，環境幽美，是進行科研工作的理想之地。我所技術力量雄厚，專業結構配套，具有開發市場、為經濟建設服務的潛力和科研試製、小批量生產成線的能力，屬基礎研究與套用開發相結合的綜合型設備研究所。自一九七六年建所以來，本所根據國家軍品民品對微電子發展的需要，積極跟蹤國外先進技術，研製出一代又一代具有國內外先進水平的設備，在我國半導體微細加工技術領域處於領先地位。
成就
在國家“六五”至“十一五”期間，本所承擔了多項國家重大科技攻關項目和軍工科研任務，並在科技體制改革中，堅持以科研為中心、以市場為導向，軍品優先、軍民結合，發揮技術優勢，適時調整產品結構，積極開拓其他科研領域，完成了由單一科研型向科研經營型的轉變。四十八所現有職工800餘人，科技專業人員占職工總數的60％以上，其中副高以上科技專業人員近100人，中級近300人。
中國電子科技集團分公司及研究所
| 中國電子科技集團公司是中央直接管理的國有大型骨幹企業，是以原信息產業部直屬研究院所和高科技企業為基礎、組建而成的國有大型企業集團，也是國家批准的國有資產授權投資機構之一。主要從事國家重要軍民用大型電子信息系統的工程建設，重大裝備、通信與電子設備、軟體和關鍵元器件的研製生產。 |
