鐵電膜

鐵電膜

鐵電膜的製造方法：本發明涉及的鐵電膜（１０１）的製造方法包括：（ａ）將含有鈮元素的多元羧酸鹽、含鉍元素的多元羧酸鹽、多元羧酸或多元羧酸酯、和有機溶劑混合的工序；（ｂ）將混合的溶液塗布在基體上之後進行熱處理，由此形成由ＢｉＮｂＯ↓［４］構成的鐵電膜的工序。根據本發明，可以提供不含鉛的可靠性高的鐵電體及其製造方法、鐵電體電容器以及鐵電存儲器。