薄膜電致發光材料

薄膜電致發光材料(thin-film eletroluminescent materials)，TFEL當發光體製成薄膜形式時，在電場作用下出現的發光現象稱為薄膜電致發光。具有這種性能的薄膜稱為薄膜電致發光材料。至今最主要的基質材料是ZnS,也是將發光體夾在兩個平行平板電極之間，其中一個是透明或半透明的如導電玻璃等。當在兩電極上加一電壓時，電致發光從其中透射出來。薄膜的厚度一般是1μm左右。薄膜電致發光也分直流和交流兩類。薄膜電致發光屏因可製成平板等各種形狀，因此具有視角大、光線柔和、製備工藝簡單、造價便宜等特點，在顯示和顯像方面是很理想的發光器件。

純的ZnS薄膜是沒有電致發光的，只有摻入激活劑才能電致發光，因此激活劑的摻入對薄膜電致發光具有重要作用。激活劑加入方法主要有:1.在原材料灼燒前加入激活劑，然後將這些材料直接蒸發，得到電致發光薄膜；2.先製成ZnS 薄膜，然後將它埋在所需激活劑的粉末材料中，經高溫灼燒，使激活劑擴散到ZnS 薄膜里使薄膜激活；3.將ZnS:Mn 薄膜浸在稀的銅鹽水溶液中，經處理使其表面形成一層硫化銅，得到直流電致發光薄膜；4. 將ZnS和稀土氟化物或單質分別裝在兩個舟里，同時蒸發，獲得電致發光薄膜； 5. 離子注入法，如將Mn 離子以10kV 的能量注人到ZnS 薄膜中，然後在600°C 氬氣氛中處理，用Al 作背電極而獲得ZnS:; Mn 薄膜。

製備發光薄膜方法有：1.真空蒸發，其中有電子束蒸發和多源共蒸發；2.濺射，最常用的為射頻濺射；3.外延技術如分子束外延(MBE) 和原子層外延(ALE)；4.化學氣相沉積，主要是金屬有機化合物化學相沉積(MOCVD) 技術。