內容簡介
能源、材料、信息科學是新技術革命的先導和支柱。作為特殊形態的電子薄膜，已成為微電子學、光電子學、磁電子學、刀具超硬化、感測器、太陽能利用等新興學科的材料基礎，是高新技術的重要組成部分。本書內容既介紹各類固體薄膜的研究和發展資料，也包括國內學者和著者的研究成果，反映了當前學科的先進水平。
目錄
第1章 緒論
1．1 薄膜的定義及特性
1．2 薄膜材料研究現狀
1．3 新型薄膜材料發展前景
參考文獻
第2章 新型半導體薄膜材料
2．1 概述
2．2 矽基非晶態半導體薄膜
2．3 多晶矽和微晶矽薄膜
2．4 a-Si：H太陽電池
2．5 薄膜電晶體與大面積液晶顯示器
參考文獻
第3章 金剛石薄膜及相關材料
3．1 概述
3．2 金剛石薄膜
3．3 類金剛石膜（DLC）
3．4 立方氮化硼薄膜
3．5 B-C3N4薄膜
3．6 BCN薄膜
3．7 其他硬質薄膜
3．8 寬頻隙薄膜材料場電子發射研究的現狀與問題
參考文獻
第4章 納米薄膜材料與可見光發射
4．1 概述
4．2 發光機理及Si發光面臨的問題
4．3 Ge/Si超晶格和量子阱結構材料
4．4 Ge/SiO2、Si/SiO2納米膜發光
4．5 多孔矽發光
4．6 GaN基薄膜材料發光
4．7 薄膜發光顯示器（Ⅱ-Ⅵ族化合物）
4．8 矽中摻鉺（Er）的發光特性及機理
4．9 ZnO量子點——半導體雷射器新材料
參考文獻
第5章 硫系及其他多元化合物薄膜
5．1 概述
5．2 硫系化合物半導體
5．3 CuInSe2(CIS)薄膜及薄膜太陽能電池
5．4 CdTe太陽電池
5．5 薄膜靜電成像——複印鼓
5．6 納米Sn太陽能吸熱膜
參考文獻
第6章 介質薄膜材料
6．1 概述
6．2 電介質薄膜及套用
6．3 鐵電薄膜及套用
6．4 壓電薄膜及套用
參考文獻
第7章 高溫超導薄膜材料
7．1 概述
7．2 高溫超導薄膜製備方法
7．3 高溫超導薄膜材料的結構和性質
7．4 高溫超導薄膜材料的套用
參考文獻
第8章 巨磁阻薄膜材料
8．1 概述
8．2 磁性多層模的巨磁阻效應
8．3 顆粒膜的巨磁阻效應
8．4 自旋閥多層膜的巨磁阻效應
8．5 摻雜稀土錳氧化物的巨磁電阻效應
參考文獻
第9章 其他薄膜材料
9．1 概述
9．2 超晶體和量子阱薄膜材料
9．3 有機電致發光薄膜
9．4 透明導電膜（TCO）及其在電子工業方面的套用
9．5 窄帶隙紅外光導薄膜材料（HgCdTe）
9．6 變色薄膜材料
9．7 防偽技術和光學防偽膜
參考文獻
第10章 薄膜製備的新技術和檢測手段
10．1 概述
10．2 濺射法
10．3 微波電子加旋共振化學相沉積
10．4 分子束外延
10．5 金屬有機化學氣相沉積
10．6 直流電弧電漿噴射CVD法
10．7 溶膠-凝膠法
10．8 電沉積
10．9 脈衝雷射沉積法
10．10 觸媒化學氣相沉積
10．11 薄膜檢測手段
