內容簡介
《矽基納米光電子技術》介紹了:矽基納米光電子技術是納米半導體技術和半導體光電子技術領域中的一個新學科分支,旨在研究各種矽基納米材料的製備方法、結構特性、光電性質、器件套用以及光電子集成等。作者結合自己的工作,對上述內容進行了介紹與評論。全書共分兩部分:第一章至第六章主要介紹了矽基納米薄膜、矽納米線和矽基光子晶體等矽基納米結構的製備方法與發光特性;第七章至第十章著重介紹了矽基光發射器件、矽基光波導器件和矽基光接收器件等矽基光電子器件的製作與集成。《矽基納米光電子技術》可供從事納米半導體薄膜材料與納米光電子器件研究的科技工作者參考,也可供高等院校電子科學與技術專業的教師、研究生和本科生閱讀。
圖書目錄
緒論
參考文獻
第一章 Si基納米材料的結構性質
第二章 Si基納米薄膜的製備方法
第三章 有序Si基納米材料的自組織生長
第四章 Si納米線的光電特性與製備方法
第五章 Si基光子晶體的製備技術
第六章 Si基納米薄膜材料的發光特性
第七章 Si基光發射器件
參考文獻
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