甘油醇丙烯酸脂共四乙基丙烯膠鹽

[poly methacrylate-co-ethyl acrylate)]

COP [poly (glycidyl methacrylate-co-ethyl acrylate)] ，甘油醇丙烯酸脂共四乙基丙烯膠鹽
這是一種化工原料。在積體電路工藝技術中，現在常常用作為電子束曝光的一種負性抗蝕劑；因為它在顯影時也像其他負性抗蝕劑一樣會膨脹，故解析度只有1μm左右。