研究領域
清華大學儀器科學與技術研究所圍繞現代科學儀器的研究領域，主要研究方向包括微米納米技術、光存儲技術、精密儀器和測試技術、導航與控制技術、感測技術與智慧型儀器、智慧型微系統及控制技術和生命科學儀器等，是一個多學科交叉的與校外企業和研究單位有廣泛聯繫的以一級學科建立起來的教學研究單位。
1981年經國務院學位辦批准建立精密儀器及機械學科博士點，1988年批准為重點學科，設立儀器儀表博士後流動站。1989年與天津大學精儀系共建精密測試技術與儀器國家重點實驗室。1997年獲一級學科博士學位授予權。2001年國家重點學科評估中以滿分列第一名。2003年在全國儀器科學與技術一級學科評估中再次以滿分獲得第一名。
歷史
儀器科學與技術研究所是精密測試技術與儀器國家重點實驗室的重要組成部分，並建有光碟國家工程研究中心、清華大學宇航中心、清華大學微納米 技術研究中心中心實驗室、清華大學導航技術工程中心 、微小衛星技術聯合實驗室、微慣性技術及器件聯合實驗室、測控聯合實驗室及清華大學實驗教學基地“現代測控技術實驗教學中心”，具有一大批現代化的儀器和實驗設備。
從70年代至90年代研製成功半導體製造設備、靜電陀螺儀、可擦寫光碟系統、MEMS技術、載體測控和醫療器械研究以及石英數字式力感測器等，共獲得國家和部級獎勵20餘項。其中光熱效應光碟讀寫系統、石英數字式力感測器、基於MEMS的載體測控系統及其關鍵技術獲國家發明二等獎。發表學術論文千餘篇，獲專利百餘項。目前主要承擔973國家重大基礎研究項目、863高技術發展研究計畫項目、國防工程重大項目、多項國家自然科學基金項目以及國家重點攻關項目等。教學方面承擔了面向全校的儀器、測試、控制方面的本科和研究生課程30餘門，其中2門被評為北京市精品課程。現有教工近60人，其中 長江特聘教授1人，在職教授11人，副教授18人，講師13人，具有博士學位的教師27人。
