彈性反衝分析

學科：岩礦分析與鑑定
詞目：彈性反衝分析
英文：elastic recoil delection array（ERDA）
釋文：彈性反衝分析與盧瑟福背散射能譜分析（RBS）相似，也是盧瑟福散射技術。不過所測的是前向的反衝核。彈性反衝分析主要用於分析樣品表層的輕元素深度分布，現雖較多地使用重離子束，但利用能量為3百萬電子伏（MeV）左右的He離子微束，測定樣品中的氫分布，還是一個很有用的微束分析手段。