盧瑟福背散射能譜分析

簡稱背散射分析。主要用於樣品中元素的定性、定量和深度分布分析。理論基礎是快速運動的入射離子受靜止的靶原子核的庫侖排斥作用而發生散射。通過對散射離子能量的測量，可以確定靶原子的質量。通過對散射產額的測量，可以定量地確定靶原子的含量。通過對散射離子的能譜測量，可以確定靶原子的深度分布。

學科：岩礦分析與鑑定

詞目：盧瑟福背散射能譜分析