用途
平面平晶是用於以干涉法測量塊規，以及檢驗塊規、 量規、零件密封面、測量儀器及測量工具量面的研合性和平面度的 常用工具。
適用於光學加工廠、廠礦企業計量室、精密加工車間、閥門密封面現場檢測使用，也適用於高等院校、科學研究等單位做平面度等檢測。
規格
1、平面平晶 YDF-1 標準外形尺寸 單位：mm
規格30 45 60 80 100 150 200 250
直徑30 45 60 80 100 150 200 250
平晶高度15 15 20 20 25 30 40 45
特殊規格尺寸平面平晶,環形平面平晶,方形平面平晶可定做.
2、平面平晶製成兩種精度： 1級 和 2級
3、平面平晶工作面的平面度偏差允許值為：
直徑為 30至60mm 1級平晶 0.03μm
直徑為 30至60mm 2級平晶 0.1 μm
直徑為 80至150mm 1級平晶 0.05μm
直徑為 80至150mm 2級平晶 0.1 μm
更大尺寸平面平晶平面度偏差允許值，根據國家標準。
4、平面平晶工作面的局部偏差允許值為： 0.03μm
5、平面平晶測量工作應在室溫2 0℃±3℃條件下保持數小時後進行。
測量方法
平晶是利用光波干涉現象測量平面度誤差的，故其測量方法稱為平晶干涉法（圖2）,也稱技術光波干涉法。測量時,把平晶放在被測表面上,且與被測表面形成一個很小的楔角 θ，以單色光源照射時會產生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關。如入射光線垂直於被測表面，且平晶與被測表面間的間隙很小,則由平晶測量面P反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P發生干涉而出現明或暗的干涉條紋。若在白光下，則出現彩色干涉條紋。如干涉條紋平直，相互平行,且分布均勻,則表示被測表面的平面度很好；如干涉條紋彎曲，則表示平面度不好。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)
λ為光波波長，白光的平均波長為0.58μm,ν為干涉帶彎曲量，ω為干涉帶間距。
