平晶平面度檢測

Webon快速平面度檢測
一．首先採用平面檢測儀器
對研磨後的器件平面採用平面度檢測儀定初步精度
如研磨後的器件達到5um以內可以用平晶進行檢測
未達到繼續研磨器件可以不用下盤。
FG-5檢測120以內
FG-7檢測170以內
FG-9檢測220以內
FG-30檢測650以內
二達到5um以內用平面平晶體檢測
首先看是否有條紋。是否合格
以300的密封器件為例的。
檢測的整個面必須首先看到同心圓才合格
2um的面型精度整個面的同心圓條紋小於3個
1個同心圓條紋精度大於在0.8um
3個就是2.4um左右
也就是說必須是小於3個的同心圓條紋才合格。
N<3
三。以下是檢測中會出現的問題。
條紋非常密集。
兩種情況。1. 加工出得元件精度遠遠不夠。
2. 平晶和元件之間有異物灰塵沒處理乾淨
條紋非常亂
情況是加工的研磨盤凹凸不平不在一個平面上。元件研磨後整個面就是亂的、
同心圓條紋圈數太多。
情況是元件精度還不達標繼續研磨直到圓圈數少於3個。
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