安徽省微電子機械系統工程技術研究中心

Microen otechn ation

主要研究方向和領域：
微感測器與微執行器研究
對微感測器和微執行器所涉及的基礎理論、微尺度效應、集成設計方法以及感測執行陣列等進行研究，主要開展MEMS慣性與導航器件研究、SOI高溫壓力/應變感測器、溫度感測器以及系統集成晶片、柔性感測器、微/納結構設計與線上測試分析等研究。實現微器件與系統的套用和產業化。
微全分析生物感測晶片系統研究
以套用於環境、水體和食品安全污染分析為主的微流控感測分析系統晶片以及環境痕量氣體污染檢測微感測器為研究對象。建立系統設計與加工理論，解決關鍵工藝技術，開發新工藝、新設備和微系統測試技術。
納電子學研究：NEMS器件與感測器集成研究
主要研究內容包括矽基/柔性襯底的單碳納米管(CNT)平行陣列、隨機網路NEMS器件如場效應電晶體、存儲器；矽基碳納米管的壓力、應力/應變感測器，碳納米管生物感測器研究。以ZnO、ZnS、CdSe納米線、帶等II-VI族準一維半導體為主要研究對象，製備基於準一維半導體的場效應器件，對準一維半導體的電輸運特性、器件化套用進行研究。結合 “Top-down”方法和“Bottom-up”方法，將現有納米技術的研究成果和實際工程技術有效結合起來，形成面向產業化的納米技術的研究方向。
微納加工工藝與仿真研究
主要開展的微納加工製備工藝研究有乾法刻蝕、聚合物鍵合、納米壓印、薄膜技術、光刻技術研究等。開展MEMS器件的計算機輔助設計方法和仿真研究，主要有MEMS器件關鍵/特殊加工工藝與仿真系統研究，包括SU-8厚膠刻蝕、深反應離子刻蝕、表面犧牲層腐蝕等工藝與仿真，並實現典型微結構的實際套用驗證。 主要科研成果： 工程技術研究中心目前承擔有國家863計畫項目、國家自然科學基金、安徽省自然科學基金、合肥市科技計畫、企業委託研發等各類項目十餘項，“新型微納器件”研究是合肥工業大學2009年度立項重點支持的五個創新群體之一。1人入選教育部2008年“新世紀優秀人才支持計畫”。獲教育部高等學校科學技術獎：自然科學獎一等獎1項。已在IEEE Sensors Journal，Sensors and Actuators A，Journal of Micromechanics and Microengineering，Nano Letters，Appl. Phys. Lett.，Nanotechnology，半導體學報，儀器儀表學報，微波學報，真空科學與技術學報等國際、國核心心期刊上發表學術論文70餘篇。多次在國際國內重要學術會議如Proceedings of IEEE Sensors、International MEMS Conference、Conference of the China Society of Micro-Nano Technology等學術會議上發表並宣講論文，所發表的會議論文同時被Ei收錄。獲授權發明專利1項，授權實用新型專利1項，已申請發明專利5項.