許高斌

Microen Gaobin Gaobin

性別：男性
出生年月：1970 年10月
民族 ：回族
政治面貌：中國共產黨黨員
行政職務：安徽省MEMS工程技術研究中心常務副主任
技術職務：合肥工業大學電子科學與套用物理學院副教授
最高學歷：博士研究生
最高學位：工學博士
畢業院校：東南大學
畢業專業：微電子學與固體電子學
個人簡介
東南大學微電子機械系統教育部重點實驗室工學博士，合肥工業大學電子科學與套用物理學院副教授，電子科學與技術（微電子學與固體電子學）碩士點、精密儀器與機械碩士點碩士生導師，安徽省微電子機械系統工程技術研究中心常務副主任。曾承擔和參與過863 計畫項目－環境氣象檢測微系統開發；863 計畫項目－MEMS 加工與封裝建模(450 萬，2003AA404010)、模擬與IP庫總裝備部“十?五”預研計畫－用於工藝監控的MEMS 測試結構及方法以及教育部重點科研計畫項目－溫度誘導液-液結構轉變對合金凝固行為及組織的影響等的研究工作。其主要研究的科研成果已在MEMS專業設計軟體IntenlliSence軟體中使用，取得良好的經濟效益和社會效益。作為主要研究人員獲教育部2006年度高等學校科學技術獎－自然科學一等獎；獲授權專利2 項(第一發明人)；已申請受理髮明專利1 項(第一發明人，進入專利公告階段)。目前主持和承擔國家自然科學資金1 項，安徽省合肥市重點科技計畫項目1 項，安徽省高校自然科學重點研究項目1 項，安徽省自然科學基金項目1項，企業/研究所委託項目2項。是安徽省精品課程《半導體器件物理》的主講教師。近三年來IEEE Sensors Journal, Sensors and Actuators, Journal ofMicromechanics and Microengineering, 儀器儀表學報, 半導體學報, 真空與科學技術學報, 中國機械工程等國內外核心期刊上發表SCI/Ei收錄20 余篇。應邀為APCOT’2008(Taiwan)分會主席(Session Chair of Bio Micro-Nano Technology)，IEEE Sensors Journal 期刊審稿人。主要研究領域有：CMOS MEMS、MEMS/NEMS器件與集成技術、微納感測器與片上積體電路、微納結構設計與薄膜材料參數線上測試技術等。
社會兼職 中國微米納米技術學會高級會員
導師類別及學術專長
導師類別：碩導
碩導學科：微電子學與固體電子學 精密儀器及機械
碩導方向：MEMS/NEMS器件與集成製備技術 微/納感測器與片上積體電路微/納結構設計與材料參數線上測試技術
科研、獲獎、學術成果
在研項目 1、國家自然科學基金，硫屬化合物納米結構與共軛聚合物的雜化體異質結及其光伏特性的研究，2008年1月－2010年12月，27萬，參加（排序2）。 2、安徽省自然科學基金：柔性襯底單壁碳納米管陣列NEMS器件及其在納米積體電路中的套用研究，2009年1月-2011年12月，5萬，項目主持人。 3、中國兵器工業第二一四研究所：矽基MEMS加速度感測器，2009年1月-2010年12月，6萬，項目主持人。 4、合肥邦立電子有限公司：數字電容式液位感測技術的套用開發，2009年1月－2009年12月，10萬，項目主持人。
完成項目 1、總裝備部“十五”預研計畫：用於工藝監控的MEMS測試結構及方法，項目編號：41308.05.02.06，2001年1月-2004年12月，項目經費：150.00萬，項目組主要研究人員，子項目承擔人。 2、863計畫項目：MEMS加工與封裝建模、模擬與IP庫，項目編號：2003AA404010，2003年6月-2004年12月，項目經費：400.00萬。參加。 3、安徽省教育廳自然科學研究重點項目：基於MEMS技術CMOS兼容靜電型微繼電器研究，項目編號：2006KJ026A，2006年1月-2008年12月，項目經費：5.00萬，項目主持人。
獲獎項目 1、2006年度高等學校科學技術獎：自然科學一等獎，項目名稱：多晶矽電熱微執行器模型、製備與表征，證件編號：2006-023。
學術成果 1、Xu Gaobin, Li Yang, Huang Qing-An, Li Weihua. In-line method for extracting the temperature coefficient of resistance of surface-micromachined polysilicon thin films. Sensors and Actuators A: Physical, 2007, Vol.136(1):249-254. (SCI、Ei收錄) . 2、Xu Gaobin, Huang Qing-An. An online test microstructure for thermal conductivity of surface-micromachined polysilicon thin films. IEEE Sensors Journal, 2006, Vol.6(2): 428-432. (SCI、Ei收錄). 3、許高斌, 黃慶安, 李偉華. 微加工多晶矽薄膜熱導率T型測試結構的設計與模擬. 儀器儀表學報, 2005, Vol.26(9): 917-922. (Ei收錄). 4、許高斌, 李洋, 何曉雄, 矯妹. 靜電型微繼電器的設計與研究, 真空科學與技術學報, 2007,Vol.27(5): 405-412. 5、許高斌. 薄膜熱擴散係數的線上測試研究. 真空科學與技術學報, 2006, Vol.26(2): 88-92+97. (Ei收錄).
國家專利 1、發明專利：導體薄膜熱導率測試裝置，發明人：許高斌，黃慶安，專利號：ZL03113386.X，公開號：1445535。 2、發明專利：低閾值電壓靜電型微繼電器，發明人：許高斌，何曉雄，李洋，申請號：200610161431。 3、實用新型專利：低閾值電壓靜電型微繼電器，發明人：許高斌，何曉雄，李洋，申請號：2006201654757。已授權（發文授權日期：2007年9月14日）。