多晶矽超純水設備

1、採用RO反滲透+EDI離子交換系統相結合的成熟工藝,具有運行可靠、操作維護方便; 3、前置RO反滲透工藝技術先進,可靠。 超純化水標準、醫療生物水標準、顯像管、液晶顯示器用純水水質(經驗數據)

技術工藝分析

1、採用RO反滲透+EDI離子交換系統相結合的成熟工藝,具有運行可靠、操作維護方便;
2、與傳統工藝相比具有運行穩定優點(離子交換器的再生周期大大延長),與最新工藝相比無須再生,耗材;
3、前置RO反滲透工藝技術先進,可靠。並運用成熟的EDI工藝,使水質出水更趨於穩定安全;

系統工藝流程

預處理系統-反滲透系統-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統工藝)

工藝出水標準

超純化水標準、醫療生物水標準、顯像管、液晶顯示器用純水水質(經驗數據)
積體電路PCB用純水水質、光電技術、航空技術、半導體高晶矽製取及化合物提取
國家電子級純水標準
美國SEMI協會標準

設備特點

為滿足用戶需要,達到符合標準的水質,儘可能地減少各級的污染,延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量.在工藝設計上,取達國家自來水標準的水為源水,再設有介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等。系統中水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、線上水質檢測控制儀表、電氣採用PLC可程式控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上採用推薦和客戶要求相統一的方法,使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。

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