圖書信息
書 名: 多晶矽生產技術
作 者：鄧豐，唐正林
內容簡介
本書緊密結合生產實踐，注重了理論與實踐的有機結合。
本書可作為高職高專矽材料技術及光伏專業的教材，同時也可作為中專、技校和從事單晶矽生產的企業員工的培訓教材，還可供相關專業工程技術人員學習參考。
圖書目錄
第1章 概述
1.1 矽的簡介
1.2 矽材料工業概況
1.3 多晶矽的生產方法
小結
習題
第2章 純水的製備
2.1 水的概述
2.2 離子交換法簡介
2.3 去離子水（高純水）的製備工藝
2.4 離子交換法製備純水
2.5 純水製備系統主要設備及工作原理
2.6 純水製備系統運行控制
2.7 純水製備系統的清洗
2.8 高純水的測量
小結
注釋
習題
第3章 工業矽的生產
3.1 工業矽生產原理及影響因素
3.2 工業矽生產工藝
3.3 工業矽生產操作
3.4 工業矽生產設備
3.5 生產操作及安全控制
3.6 煙氣淨化利用
小結
習題
第4章 氫氣的製備和淨化
4.1 氫氣的簡介
4.2 氫氣的生產工藝
4.3 氫氣的淨化、儲存和運輸
4.4 氫氣的安全使用
小結
習題
第5章 液氯的汽化
5.1 氯氣的性質
5.2 液氯的汽化
5.3 氯的存放和安全使用
小結
習題
第6章 氯化氫的合成
6.1 氯化氫的性質
6.2 氯化氫的合成原理
6.3 氯化氫合成工藝過程
6.4 主要設備及其作用
6.5 工藝條件選擇和操作要點
6.6 質量控制要點
6.7 安全控制
小結
習題
第7章 三氯氫矽的合成
7.1 三氯氫矽製備原理
7.2 三氯氫矽合成工藝流程
7.3 三氯氫矽合成的主要設備
7.4 三氯氫矽合成的工藝條件
7.5 生產現場操作要點
小結
習題
第8章 三氯氫矽的提純
8.1 三氯氫矽中雜質含量的分析
8.2 提純三氯氫矽的方法簡介
8.3 精餾的基本概念
8.4 雙組分溶液的氣液相平衡
8.5 精餾原理
8.6 精餾塔的物料衡算——操作線方程
8.7 雙組分連續精餾過程的計算
8.8 精餾提純設備
8.9 精餾工藝
小結
習題
第9章 三氯氫矽氫還原製備高純矽
9.1 三氯氫矽氫還原的原理及影響因素
9.2 三氯氫矽氫還原的工藝
9.3 三氯氫矽氫還原操作要點及事故處理
9.4 三氯氫矽氫還原工藝質量要求
9.5 三氯氫矽氫還原工藝中的計算
9.6 還原生產中的熱能綜合利用
小結
習題
第10章 還原尾氣乾法回收工藝
……
第11章 矽芯的製備與腐蝕
第12章矽烷法製備高純矽
習題
參考文獻
