塗覆

塗覆是在基片表面蓋上一層材料，如用浸漬、噴塗或鏇塗等方法在基片表面覆蓋一層光致抗蝕劑。

coat
在基片表面蓋上一層材料，如用浸漬、噴塗或鏇塗等方法在基片表面覆蓋一層光致抗蝕劑。