儀器簡介
原生多晶型號測試儀(HS-PSTT),是一款高端的半導體材料型號測試儀器具有大量程測試範圍的特點,尤其適用於西門子法原生矽料生產企業的高阻矽料(含矽芯、檢磷棒、檢硼棒等)以及各種低阻矽料型號測量,型號電阻率測量範圍為0.0001~19999Ω?cm,涵蓋了目前半導體及太陽能級矽料生產企業的各種矽料的型號測量要求。
儀器特點
■適用於西門子法、矽烷法等工藝生產原生多晶矽料的企業
■適用於物理提純生產多晶矽料生產企業
■適用於光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業
■適用於科研部門、高等院校及需要超大量程測量電阻率的企業
■測量範圍廣,矽型號電阻率測量範圍為0.0001~19999Ω?cm
■可判別鍺型號,電阻率範圍為10~10Ω?cm
■雙數字表結構使測量更精確,操作更簡便
■可判別從高阻單晶到重摻單晶幾乎所有非本徵半導體材料型號
■儀表指針和液晶數字兩種顯示有機結合,保證型號檢測萬無一失
■具有靈敏度表設定,保證高阻矽材料型號的準確測量
■綜合了熱電法和整流法兩種測試型號的方法,是半導體材料型號測量的萬用表
■冷熱筆和三探針經久耐用,極大降低測試成本
■具有穩定性好、結構緊湊、使用方便等特點
■採用進口元器件,留有更大的安全係數,大大提高了測試儀的可靠性和使用壽命
■具有抗強磁場和抗高頻設備的性能
部分技術參數
■可判別矽型號電阻率範圍: 10~ 10Ω・ cm
■可判別鍺型號電阻率範圍: 10~ 10Ω・ cm
■鍺、矽單晶直徑及長度:不受限制
■電源: AC 220V ± 10% , 50HZ
■功耗:最大功耗 ≤40W ,平均功耗≈ 10W