介紹
光電輪廓儀是在干涉顯微鏡的基礎上，套用數字圖像處理技術，光、機、電算相結合的最新型儀器。該儀器除在計量系統作為基礎儀器外，在材料科學、生物學、化學、微機械學以及半導體工業等領域中的納米分析測量也有廣泛的套用前景。
圖1 光電輪廓儀系統框圖光電輪廓儀由光學干涉顯微鏡、相移裝置、C-MOS接收器、控制箱和計算機等部分組成，其系統框圖如下。
工件放到干涉顯微鏡工作檯面上，調整好乾涉條紋後，計算機操縱控制箱驅動移相器，對干涉條紋進行掃描，由C-MOS接收並傳給計算機，經專用軟體計算、分析處理後，在計算機螢幕上顯示出工件表面三維立體圖、截面圖和測量的數值結果，也可以列印或保存在計算機內。
套用範圍
光電輪廓儀的套用範圍很廣，它主要用於測量各種精密加工零件表面的微觀三維結構，如表面粗糙度；零件表面的刻線；刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說，如量塊、光學零件表面的粗糙度；標尺、度盤的刻線深度；光柵的槽形結構；鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌；磁（光）盤、磁頭表面結構測量；矽片表面粗糙度及其上圖形結構測量等等。由於儀器測量精度高，重複性好，具有非接觸和三維測量等特點，並採用計算機控制和快速分析、計算測量結果，本儀器適用於各級測試、計量研究單位，工礦企業計量室，精密加工車間和高等院校及科學研究單位等。
