天順儀器配置:
1.測定部:LSM-506S
2.顯示部:LSM-6200
3.滾筒移動載物台RM–600
4.腳踏開關
規格如下:
1.測定範圍 :2-60mm
2.最小讀值 :0.00005-0.1mm(可選擇)
3.重現性 :+0.36um
4.真直度 :+3um (在20℃時)
5.位置誤差 :+4um
6.測定回數 :3200回/秒
7.鐳射波長 :650nm,visible(*5)
8.測量區域 :20*60mm
9.鐳射掃描速度:452m/s(17795”/s)
10.本儀器可直接讀出工件數據，大大提高了工作效率。
11. 可自由移動0-500mm
12. 工件旋轉由馬達帶動，速度可調
