三氯甲矽烷

三氯甲矽烷（trichlorosilane; silicochloroform），又名矽氯仿。在環境條件下無色液體。用於生產有機矽化合物、多晶矽等。

理化性質

【液體密度】1.328g/m3 @ 25℃

【熔點】-128.2℃

【沸點】31.85℃

【閃點】-27.8℃

【氣體粘度】117.43μP @ 32℃

【液體粘度】0.319cP @ 25℃

【溶解情況】溶於二硫化碳，四氯化碳、氯仿、苯等。

製備或來源

由矽粉與氯化氫反應而得。

備註

遇水分解，易燃，在空氣中能自燃。有刺激性臭味。有毒