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書名原文:Silcon-on-insulator technology內容提要 本書包括:SOI材料、SOI材料的表征技術、SOI MOSFET、SOI電路等8章。
題名 Silcon-on-insulator technology
主題 絕緣襯底上外延矽MOS積體電路
內容提要 本書包括:SOI材料、SOI材料的表征技術、SOI MOSFET、SOI電路等8章。
題名 Silcon-on-insulator technology
主題 絕緣襯底上外延矽MOS積體電路
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SOI材料
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單晶矽
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鄒世昌
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瀋陽渾南
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