【實驗室概況】
東南大學半導體專業 1958 年籌建。 1979 年批准為碩士點， 1985 年批准為博士點，同年成立微電子中心， 1998 年批准為博士後流動站。 1999 年申報微電子機械系統（ MEMS ）教育部重點實驗室， 2000 年通過可行性論證。 MEMS 教育部重點實驗室現有教授 8 人，副教授 13 人，其中有博士學位的教師 9 人。
先後承擔的主要課題有：
（ 1 ）氣象檢測 MEMS 晶片與系統，
（ 2 ）微執行器計算機輔助設計；
（ 3 ）微系統與微力學；
（ 4 ）矽片直接鍵合技術等國家攻關計畫、高技術研究計畫和國家自然科學基金等項目。
先後獲得中國發明專利 14 項。其中矽片直接鍵合技術已轉移到揚州晶來半導體股份公司生產。已培 養 博士 40 余名，每年可招收博士生 8 名、碩士生 20 余名。 MEMS 教育部重點實驗室已成為我國 MEMS 科技研究與高級人才培養基地。
目前主要研究領域有
（ 1 ） MEMS 計算機輔助設計；（ 2 ） MEMS 集成感測器；
（ 3 ）微執行器；
（ 4 ）射頻 / 微波 MEMS ；
（ 5 ）光 MEMS ；
（ 6 ）矽微加工技術。
與國際知名高校、尤其與跨國公司或知名合資公司合作，通過基礎研究、技術創新、高新技術產業化和人才培養等方面的努力，為國家經濟發展和社會發展做出更大貢獻。
