鳥嘴效應

由於氧在二氧化矽中的擴散是一個等向性過程，因此，氧也會通過氮化矽下面的襯墊二氧化矽層進行橫向擴散，在靠近刻蝕視窗的氮化矽層底下就會生長出二氧化矽。