高純氣體系統用陶瓷過濾器

高純氣體系統用陶瓷過濾器(Usedin High Purity Gas System Ceramic Filters)
　氣體工業名詞，由多孔陶瓷所製成的深度過濾器，氣體通過彎曲的孔徑時，靠攔截，慣性和擴散三種效應來捕捉粒子。其特點是容塵量大，阻力小，耐腐蝕，耐高溫，不吸附水，二氧化碳，氧和其它氣體，不脫氣。典型的陶瓷過濾器對0101Lm粒子的過濾效率可達9919999%。過濾器在包裝之前應烘乾，同時用純氮氣吹掃，然後在100級潔淨室內用雙層袋密封包裝。最高工作壓力17MPa，最高工作溫度160℃，最高烘乾溫度200℃，最大壓差10MPa，氣流速度50～900Lmin。