顆粒膜材料

顆粒膜材料是指將顆粒嵌於薄膜中所生成的複合薄膜，單位成本很低。超微顆粒雖有眾多優點，但在工業上尚未形成較大的規模，其主要原因是價格較高，兩顆粒膜的套用則不受價格因素的影響，這是超微顆粒實用化的很重要方向。

概述

顆粒膜材料是指將顆粒嵌於薄膜中所生成的複合薄膜，通常選用兩種在高溫互不相溶的組元制成複合靶材，在基片上生成複合膜，當兩組份的比例大致相當時。

相關

就生成迷陣狀的複合膜，因此改變原始靶材中兩種組份的比例可以很方便地改變顆粒膜中的顆粒大小與形態，從而控制膜的特性。對金屬與非金屬複合膜，改變組成比例可使膜的導電性質從金屬導電型轉變為絕緣體。
顆粒膜材料有諸多套用。例如作為光的感測器，金顆粒膜從可見光到紅外光的範圍內，光的吸收效率與波長的依賴性甚小，從而可作為紅外線感測元件。鉻一三氧化二鉻顆粒膜對太陽光有強烈的吸收作用，可以有效地將太陽光轉變為熱能；矽、磷、硼顆粒膜可以有效地將太陽能轉變為電能；氧化錫顆粒膜可製成氣體一濕度多功能感測器，通過改變工作溫度，可以用同一種膜有選擇地檢測多種氣體。顆粒膜感測器的優點是高靈敏度、高回響速度、高精度、低能耗和小型化，通常用作感測器的股重量僅為0．5微克，因此單位成本很低。超微顆粒雖有眾多優點，但在工業上尚未形成較大的規模，其主要原因是價格較高，兩顆粒膜的套用則不受價格因素的影響，這是超微顆粒實用化的很重要方向。