學歷學位
博士
職稱
學術方向
長期在微納加工裝備和微納檢測設備方面開展研究工作,為檢測技術和加工技術及設備研製提供新理論。
2006年作為項目負責人,承擔中國科學院科技助殘項目——盲文印刷系統的開發工作;
2005年作為主要承擔人承擔自然科學基金重點系統——納米解析度活細胞掃描探針原位實時顯微觀測系統的研究;
2005年作為負責人之一,圓滿完成中國科學院重大項目——納米級電子束曝光系統實用化研究;
2005年作為負責人圓滿完成承擔科學院儀器改造項目——高壓納米級電子束曝光系統。
獲獎及榮譽
簡歷
1970年生,博士,研究員,博士生導師,在項目中為負責人。
1992年蘭州大學畢業,金屬物理專業,獲學士學位;
1995年蘭州大學,半導體物理專業,獲碩士學位;
1999年清華大學,凝聚態物理專業,獲博士學位。
2000年至2002年在清華大學力學系博士後流動站工作。
2002.7至現在,在中國科學院電工研究所微納加工部電子束曝光組,研究員,研究部主任。
社會任職
微納加工技術研究部主任、電工所所長助理
代表論著
從事科學研究工作以來先後發表論文20餘篇,專利十餘項,其中代表性的論文如下:
趙慧斌,任權,韓立“聚醯亞胺薄膜表面微納米尺度下電荷特性的研究”微細加工技術2007,3
趙慧斌,任權,韓立“PMMA薄膜nm尺度下表面電荷的製備和觀察”微納電子技術.2007,4
承擔科研項目情況
2005年作為主要承擔人承擔自然科學基金重點系統——納米解析度活細胞掃描探針原位實時顯微觀測系統的研究;同年作為負責人之一,圓滿完成中國科學院重大項目——納米級電子束曝光系統實用化研究;當年,作為負責人圓滿完成承擔科學院儀器改造項目——高壓納米級電子束曝光系統;2006年作為項目負責人,承擔中國科學院科技助殘項目——盲文印刷系統的開發工作。